[发明专利]用于切割衬底的系统及方法有效
申请号: | 200710129466.1 | 申请日: | 2007-07-17 |
公开(公告)号: | CN101110391A | 公开(公告)日: | 2008-01-23 |
发明(设计)人: | 金龙云;姜判锡;金贤虎;金学东;吴昌益;金星根 | 申请(专利权)人: | SFA工程股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/78 | 分类号: | H01L21/78;B28D5/00 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 韩国忠清南道牙*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 切割 衬底 系统 方法 | ||
1.一种衬底切割系统,其特征在于其包括:
第一下平台,其从下方支撑原始衬底,所述原始衬底通过组合上面板和下面板而形成,且经受切割工作;
上切割模块,其提供在所述第一下平台的上方,且通过在由所述第一下平台支撑的所述原始衬底的所述上面板上形成预定的切割线来切割所述原始衬底;
上平台,其能够相对于所述第一下平台相对移动,且从所述原始衬底的上方支撑所述上面板已经过切割的所述原始衬底;以及
下切割模块,其提供在所述上平台的下方,且通过在由所述上平台支撑的所述原始衬底的所述下面板上形成预定的切割线来切割所述原始衬底。
2.根据权利要求1所述的衬底切割系统,其特征在于其中所述第一下平台和所述上平台中的每一者均能够在预定工作线上相对移动,所述预定工作线在对所述原始衬底执行切割工作的方向上形成,且所述上平台布置成高于所述第一下平台。
3.根据权利要求2所述的衬底切割系统,其特征在于其中所述上切割模块包括:
上横杆,其沿着垂直于所述工作线的长度方向的方向固定在定位有所述第一下平台的区域中;以及
至少一个上切割器,其耦合到所述上横杆一侧,在所述原始衬底的上面板上形成所述上切割线,所述原始衬底通过由所述第一下平台支撑而移动,且所述上切割器能够在所述上横杆上相对移动。
4.根据权利要求3所述的衬底切割系统,其特征在于其进一步包括上部线观察部分,所述上部线观察部分提供在所述上横杆的另一侧以观察所述上切割线。
5.根据权利要求2所述的衬底切割系统,其特征在于其中所述下切割模块包括:
下横杆,其沿着垂直于所述工作线的长度方向的方向固定在定位有所述上平台的区域中;以及
至少一个下切割器,其耦合到所述下横杆一侧,在所述原始衬底的所述下面板上形成所述下切割线,所述原始衬底通过由所述上平台支撑而移动,且所述下切割器能够在所述下横杆上相对移动。
6.根据权利要求5所述的衬底切割系统,其特征在于其进一步包括下部线观察部分,所述下部线观察部分提供在所述下横杆的另一侧以观察所述下切割线。
7.根据权利要求1所述的衬底切割系统,其特征在于其进一步包括排出部分,所述排出部分提供在所述下切割模块的下方,能够靠近所述下切割模块和从所述下切割模块处缩回,并排出从所述原始衬底中切掉的伪衬底,
其中所述排出部分进一步包括碾碎部分,所述碾碎部分将所述伪衬底碾碎。
8.根据权利要求2所述的衬底切割系统,其特征在于其进一步包括第二下平台,所述第二下平台沿着所述工作线布置在所述上平台后面,且从由已通过所述上切割模块和下切割模块完成切割工作的所述原始衬底形成的多个单位衬底的下方支撑所述单位衬底。
9.根据权利要求8所述的衬底切割系统,其特征在于其中所述第一和第二下平台以及所述上平台中的至少一者进一步包括多个升降销,所述升降销能够在所述平台的相应一者的表面上水平移动,以支撑且容纳由所述相应平台支撑的所述原始衬底或所述单位衬底。
10.根据权利要求9所述的衬底切割系统,其特征在于其中在提供于所述上平台中的所述升降销中形成用以吸附所述原始衬底的真空线。
11.根据权利要求8所述的衬底切割系统,其特征在于其进一步包括分配器,所述分配器沿着所述工作线提供在所述第二下平台的上方,并将完成所述切割工作的所述单位衬底逐个分配到预定的横向传送器,
其中所述分配器包括:
可移动杆,其耦合到所述工作线,且能够沿着所述工作线移动;以及
至少一个分配头,其能够沿着所述可移动杆移动,所述分配头耦合到所述可移动杆且能够相对于所述可移动杆相对旋转,并且吸附完成所述切割工作的所述单位衬底。
12.根据权利要求11所述的衬底切割系统,其特征在于其进一步包括反转器,所述反转器将分配到所述横向传送器的单位衬底的上表面和下表面的位置反转,
其中所述反转器包括:
反转轴;以及
一对反转传送器,其能够围绕所述反转轴反转,且吸附所述单位衬底的所述上表面和下表面。
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