[发明专利]叠料监视装置与方法无效
申请号: | 200710129668.6 | 申请日: | 2007-08-14 |
公开(公告)号: | CN101369549A | 公开(公告)日: | 2009-02-18 |
发明(设计)人: | 林源记;林世芳 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01B11/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 台湾省新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 监视 装置 方法 | ||
1.一种叠料监视装置,包含:
投影装置,提供可见光源以照射目标平面;
摄影装置,用以拍摄该目标平面;及
中央处理单元,设定至少一条判断线位置,并接收该摄影装置所传送的图像数据,记录该可见光源的投影线段位置并与该判断线位置进行比较,在比较后进行判断。
2.根据权利要求1所述的叠料监视装置,其特征是该中央处理单元中包括图像处理单元。
3.根据权利要求1所述的叠料监视装置,其特征是该中央处理单元具有自动光学检测功能。
4.根据权利要求1所述的叠料监视装置,其特征是该投影装置的即设角度在5度至85度间调整。
5.根据权利要求1所述的叠料监视装置,其特征是该投影装置的即设角度为与目标物成90度。
6.根据权利要求1所述的叠料监视装置,其特征是进一步可包含显示装置,用以接收并显示该中央处理单元所传送的图像数据,其中该显示装置显示该判断线位置。
7.一种具有叠料监视装置的测试机台,该测试机台包含中央处理单元、进/出料区、测试区以及至少一个叠料监视装置,其中该叠料监视装置包括:
投影装置,提供可见光源以照射目标平面;
摄影装置,用以拍摄该目标平面;以及
显示装置,用以接收并显示该中央处理单元所传送的图像数据;
其中该中央处理单元进一步设定至少一条判断线位置,并将该判断线送至该显示装置中显示,同时接收该摄影装置所传送的图像数据,记录该可见光源的投影线段位置并与该判断线位置进行比较以及在比较后进行判断。
8.根据权利要求7所述的测试机台,其特征是进一步可包括照明装置设置于该投影装置与该目标平面之间。
9.根据权利要求8所述的测试机台,其中该照明装置还包含至少一个开口,以供该摄影装置的可见光通过。
10.一种叠料监视的判断方法,包含:
提供至少一条判断线;
提供至少一个待测物件;
提供激光光线,用以投影在待测物件上;
摄取待测物件上的可见光激光线,同时将该可见光激光线的位置显示;
进行判断,判断该可见光激光线与该判断线的相互位置;
当可见光激光线超过该判断线时,即判断此位置上发生堆叠;以及
当可见光激光线未超过该判断线时,随即进行下一待测物件的监测及判断。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造