[发明专利]一种基材表面镀层的测定方法无效
| 申请号： | 200710130479.0 | 申请日： | 2007-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101354363A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 李高贵;李永胜 | 申请（专利权）人： | 比亚迪股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225;G01B15/02 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王凤桐;董占敏 |
| 地址： | 518119广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基材 表面 镀层 测定 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种基材表面镀层的测定方法，其特征在于，该方法包括利用电子显微镜检测基材和镀层的横截面，确定镀层和基材的分界；利用能谱仪对镀层区域进行线扫描，根据能谱图上的元素特征峰确定镀层的组成，一种元素的特征峰的线扫描距离为含有该元素的镀层的厚度。
2、根据权利要求1所述的方法，其中，线扫描的条件使能谱仪的能谱信号的漂移量不大于0.1微米。
3、根据权利要求2所述的方法，其中，线扫描的条件包括扫描电子束的加速电压为5-15千伏。
4、根据权利要求1所述的方法，其中，在进行线扫描时，从镀层和基材的分界开始，由里向外对镀层区域进行线扫描。
5、根据权利要求1或4所述的方法，其中，在进行线扫描时，扫描线垂直于镀层和基材的分界，扫描电子束垂直于基材和镀层的横截面。
6、根据权利要求1所述的方法，其中，电子显微镜的检测条件包括真空度为10-6至10-4帕，负载电流为80-120微安，工作距离为10-15毫米，束斑直径为15-25纳米。
7、根据权利要求1所述的方法，其中，在利用电子显微镜检测之前，对基材的横截面依次进行磨光、抛光和导电化。
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