[发明专利]流速测量传感器

权利要求书

1.一种流速测量传感器，其特征在于，由皮托管(10)、分别设于该皮托管前端和侧部的总压传感器和静压传感器组成，该总压传感器和静压传感器分别由硅压阻敏感组件组成，该总压传感器中的硅压阻敏感组件(3)设置于该皮托管(10)前端管腔，并与该管腔前端的总压进压孔(5)齐平安装；该静压传感器中的硅压阻敏感组件(2)设置于该皮托管(10)中部管腔，并与该皮托管内的静压引压管(4)输出管口(42)齐平安装，该静压引压管(4)另一端作为静压引压口(41)设于该皮托管侧部。

2.如权利要求1所述的一种流速测量传感器，其特征在于，该硅压阻敏感组件为具有惠斯通电桥结构的硅敏感元件，具有E型岛膜结构。

3.如权利要求2所述的一种流速测量传感器，其特征在于，该硅压阻敏感组件尺寸为2.2mmX2.2mm，而该硅敏感元件尺寸为1.2mm×1.2mm。

4.如权利要求1所述的一种流速测量传感器，其特征在于，该皮托管(10)前端面呈半球状，而该皮托管(10)的尾部具有流线形锥形结构(1)。

5.如权利要求1所述的一种流速测量传感器，其特征在于，该静压引压管(4)的引压口(41)与该皮托管(10)前端间的间距至少为该皮托管直径的三倍。

6.如权利要求1所述的一种流速测量传感器，其特征在于，该皮托管(10)尾部连接固定输出横管(13)，该输出横管(13)管腔与该皮托管(10)尾部管腔连通，该总压传感器和静压传感器的两信号引线(6、7)分别通过该皮托管和输出横管连通的管腔引出，并分别经两信号调理电路后引出到输出电缆(15)。

7.如权利要求6所述的一种流速测量传感器，其特征在于，该皮托管(10)尺寸为Φ8mm×103mm，该横管为Φ6mm，该静压引压管(4)的静压引压口(41)与该皮托管(10)前端间距为24mm。