[发明专利]电子束加热源真空镀膜无效
| 申请号： | 200710132925.1 | 申请日： | 2007-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN101135041A | 公开（公告）日： | 2008-03-05 |
| 发明（设计）人： | 李荣华 | 申请（专利权）人： | 吴江市天地人真空炉业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215200江苏省吴江市松陵*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束 热源 真空镀膜 | ||
【说明书】：
技术领域
本发明是属热处理行业领域。特别是一种用电子束来作为加热蒸发源的真空镀膜机。
背景技术
目前的真空离子镀膜一般采用的是电阻加热和高频加热。由于一些高熔点的蒸发源，以上加热的方法无法达到熔化而被蒸发，从而无法实现对一些耐高温材料的蒸镀。
发明内容
本发明主要是用电子束加热的方法来给蒸发源进行加热。电子束的高能电子打到坩埚的镀膜材料上时，绝大部分电子被复合形成束流，同时，电子将动能转变成热能加热熔化蒸发镀膜材料。电子束能产生很高的温度，能熔融一些耐高温蒸发源。电子束流在加热镀膜材料的同时，也会把镀膜材料的电子激发出来，电子在探极的电场的吸引下加速运动，被激发、电离的镀膜材料的原子具有较高的活性。从而沉积在基片上。
具体实施方式
该设备主要是用电子束加热的方法来给蒸发源进行加热。电子束的高能电子打到坩埚的镀膜材料上时，绝大部分电子被复合形成束流，同时，电子将动能转变成热能加热熔化蒸发镀膜材料。为了保证电子抢稳定地工作，电子抢的真空度因保持在5*10-2Pa以上，其主要的结果有：真空炉体、e型电子束加热抢、活化极、活化极电原、工件偏压电原、抽真空系统等组成。
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