[发明专利]双线振动硅微陀螺仪

权利要求书

1.一种双线振动硅微陀螺仪，由上、下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的陀螺仪机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线，陀螺仪上层机械结构的内框架(7)通过检测支承梁(5a、5b、5c、5d)与外框架(6)相连，陀螺仪下层玻璃衬底上制作有地线(8)、驱动输入引线(9a、9b)、敏感输出信号引线(10a、10b)，上层机械结构通过固定基座(1a、1b、1c、1d)对应安装在玻璃衬底上的固定基座键合点(11a、11b、11c、11d)上，使上层机械结构部分悬空在下层玻璃衬底部分之上，其特征在于：驱动支承梁(4a、4b、4c、4d)和检测支承梁(5a、5b、5c、5d)采用U型梁的结构。

2.根据权利要求1所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：外框架(6)通过驱动支承梁(4a、4b、4c、4d)与固定基座(1a、1b、1c、1d)相连。

3.根据权利要求1所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：固定驱动梳齿(2a、2b)与外框架(6)上的活动驱动梳齿对插组成多组梳齿电容，每组梳齿电容相互交错排列，排成两列。

4.根据权利要求1或3所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：外框架(6)由一组直线形梳状静电谐振器构成，该每个静电谐振器由固定驱动梳齿(2a、2b)与外框架(6)上的活动驱动梳齿对插组成。

5.根据权利要求1所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：在上层结构的活动部分的下方淀积金属层(14a、14b、14c、14d)，使之与上层结构等电位。

6.根据权利要求5所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：下方金属层(14a、14b、14c、14d)与固定基座键合点(11a、11b、11c、11d)相连。

7.根据权利要求1所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：该陀螺仪的驱动方向的振动和检测方向的振动均为线运动方式。

8.根据权利要求1所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：内框架(7)由3组直线形敏感梳状电极组成，每组电极均由固定敏感梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)与活动敏感梳齿电极交错对插组成，固定敏感梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)与内框架(7)上的活动敏感梳齿构成梳齿差动电容。

9.根据权利要求1所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：固定驱动梳齿(2a、2b)与固定驱动梳齿键合点(12a、12b)相连，固定敏感梳齿(3a、3b、3c、3d、3e、3f)与固定敏感梳齿键合点(13a、13b、13c、13d、13e、13f)相连。

10.根据权利要求1所述的双线振动硅微陀螺仪，其特征在于：敏感梳状电极为不等矩电极，即电极的左右间距不相等。