[发明专利]具有对焦机构的新型直写光刻装置

权利要求书

1.具有对焦机构的新型直写光刻装置，包括光源、光学集光系统、投影光学系统、镜头转换机构和光学定位检测系统；其中，光学集光系统包括光学集光器和可编程的图形发生器，光源与光学集光器对应；投影光学系统包括透镜、或透镜组和两个以上的投影镜头，透镜、或透镜组对应位于可编程的图形发生器下方，两个以上的投影镜头位于镜头转换器上；光学定位检测系统包括光敏感探测器和检测透镜，检测透镜通过检测波长分束器与投影镜头对应；其特征在于：

光学定位检测系统一侧设有对焦系统；

所述对焦系统包括由上至下依次对应排列的对焦光源、对焦图形发生器、对焦透镜、或透镜组和对焦反射镜，对焦系统平行与光学定位检测系统，其中对焦反射镜与光学定位检测系统中的检测分束器平行对应。

2.根据权利要求1所述的具有对焦机构的新型直写光刻装置，其特征在于：所述对焦光源为发光二极管、或弧光灯、或激光器。

3.根据权利要求1所述的具有对焦机构的新型直写光刻装置，其特征在于：所述对焦图形发生器为固定的图形模板、或可编程的图形发生器；

所述可编程的图形发生器为空间微反射镜阵列、或液晶图形显示器。