[发明专利]基于亚波长金属双光栅的可调控电磁波透射结构与制备方法

权利要求书

1.一种基于亚波长金属双光栅的可调控电磁波透射结构，其特征是包括两个单层亚波长金属光栅，这两个光栅平行排列，其间距和横向位移可调；该结构透射特性基于金属表面等离激元的波导模式，可调控的入射电磁波为p-偏振；所述光栅周期小于所述电磁波的波长；光栅的缝宽小于所述电磁波的半波长。

2.根据权利1所述的一种基于亚波长金属双光栅的可调控电磁波透射结构，其特征是所述的光栅的材料为低损耗金属，比如银、铝或金。

3.基于亚波长金属双光栅的可调控电磁波透射结构的制备方法，其特征是对于微波波段和中红外波段，可以采用金属蚀刻等工艺进行一维周期光栅的制作，然后将两个光栅平行排列，通过微调控系统调节相邻光栅之间的间距和横向偏移。

4.基于亚波长金属双光栅的可调控电磁波透射结构的制备方法，其特征是对于红外和可见光波段，可以先通过磁控溅射等工艺制作单层金属薄膜；然后用聚焦离子束刻蚀等方法制作单层光栅；再制作一层介电材料的中间层，其厚度根据设计要求控制；然后制作另一层单层金属；并蚀刻具有一定横向偏移的另一层光栅。

5.根据权利要求3和4所述的基于亚波长金属双光栅的可调控电磁波透射结构的制备方法，其特征是中间层可以为能透射电磁波的材料，比如空气、液体或介电材料等。