[发明专利]共振型微镜光栅扫描式激光投影显示装置

权利要求书

1.一种共振型微镜光栅扫描式激光投影显示装置，由红、绿、蓝激光器(1)、光纤混色器(2)、扫描微(3)、第二反射镜(4)、静态镜(5)及屏幕(6)组成，红、绿、蓝激光器(1)发出的光经光纤混色器(2)、扫描微(3)、第二反射镜(4)及静态镜(5)，投射到屏幕(6)上，其特征在于扫描微(3)采用共振型扫描微镜，该共振型扫描微镜包括：下基板(311)及上透光板(312)，在下基板(311)与上透光板(312)之间设有镜面(32)及静电驱动器且上透光板(312)位于镜面(32)的上方，在下基板(311)上设有支架(33)，镜面(32)通过设在镜面(32)左右两端的转动臂(321)与支架(33)连接，上述静电驱动器包括动极板(41)及定极板(42)，动极板(41)与定极板(42)相面对，动极板(41)与镜面(32)的侧面连接。

2.根据权利要求1所述的共振型微镜光栅扫描式激光投影显示装置，其特征在于动极板(41)采用梳状电极板。

3.根据权利要求1或2所述的共振型微镜光栅扫描式激光投影显示装置，其特征在于定极板(42)采用梳状电极板。

4.根据权利要求3所述的共振型微镜光栅扫描式激光投影显示装置，其特征在于在动极板(41)与镜面(32)的侧面之间设有用于增大驱动力矩的电极支撑臂(322)。

5.根据权利要求4所述的共振型微镜光栅扫描式激光投影显示装置，其特征在于电极支撑臂(322)由镜面(32)延伸形成。