[发明专利]一种离子束导管

权利要求书

1.一种用于离子注入机中的离子束的导管，其位于注入机中与被注入的晶片相邻近接的位置，以便在注入过程中约束晶片中和所使用的带电粒子，

所述导管具有一个轴，沿着所述轴接收离子束的开口端，与所述轴基本平行的导管壁，和穿过所述导管壁的至少一个开口，所述导管壁从所述导管内到外形成气体流通通道，

所述通道具有与所述导管轴成锐角排列的长度，及横向于所述长度的最小尺寸，以便垂直于所述导管轴的通过通道的视线被充分阻挡。

2.根据权利要求1所述的导管，其特征在于所述通道的所述最小横向尺寸在包含所述导管轴的平面内。

3.根据权利要求2所述的导管，其特征在于形成于通过导管壁的槽的所述通道在横向于所述通道长度上有一个主要尺寸，所述通道长度横向于所述导管轴。

4.根据权利要求1-3中任何一项所述的导管，其特征在于在注入过程中，导管的下游端与晶片相邻近，而导管的上游端接收所述离子束，并且所述通道被定向为离开所述下游端。

5.一种离子注入机，其具有如前面任何一项权利要求所述的导管。