[发明专利]热式气体流量计

权利要求书

1.一种热式气体流量计，具备：第1发热电阻体，其设置在测量气 体流动的环境中；和电子电路，其电连接上述第1发热电阻体，根据通电 使上述第1发热电阻体发热，测量上述气体流量，在该热式气体流量计中， 具备：

支撑部，其支撑上述第1发热电阻体；

第2发热电阻体，其设置在上述第1发热电阻体和上述第1发热电阻 体的支撑部之间，根据通电而发热；和

温度检测机构，其检测上述第1发热电阻体和上述第2发热电阻体之 间部分的温度，

控制向上述第2发热电阻体的通电，以使上述之间部分的温度接近上 述第1发热电阻体的温度。

2.根据权利要求1所述的热式气体流量计，其特征在于，

上述气体是发动机的EGR气体，

控制向上述第1发热电阻体的通电或者向上述第2发热电阻体的通 电，以使上述第1发热电阻体的温度和上述第2发热电阻体的温度变为规 定温度以上。

3.根据权利要求2所述的热式气体流量计，其特征在于，上述温度 是比350℃高的温度。

4.根据权利要求1所述的热式气体流量计，其特征在于，控制向上 述第1发热电阻体的通电或者向上述第2发热电阻体的通电，以使上述第 1发热电阻体的温度和上述第2发热电阻体的温度变为规定温度以下。

5.一种热式气体流量计，至少具有1个以上用于检测流体流量的发 热电阻体(第1发热电阻体)，并且在流体中至少配置2个以上的电阻体， 具有上述第1发热电阻体的传感器元件中，在第1发热电阻体和支撑传感 器元件的框体间，配置了用于隔断从第1发热电阻体向框体的传热的第2 发热电阻体，该气体流量计的特征在于，

在第1发热电阻体和第2发热电阻体之间设置温度检测机构。

6.根据权利要求5所述的热式气体流量计，其特征在于，

根据由设置在第1发热电阻体和第2发热电阻体之间的温度检测机构 测量的温度，控制第1发热电阻体或者第2发热电阻体的温度。

7.根据权利要求5或6所述的热式气体流量计，其特征在于，

对于第1发热电阻体或者第2发热电阻体的发热温度，设定为固定或 者可变的目标值，控制上述第1发热电阻体或者第2发热电阻体的发热温 度成为目标值。

8.根据权利要求5或者6所述的热式气体流量计，其特征在于，

以第2电阻体的发热温度比第1发热电阻体的发热温度高的方式进行 控制。

9.根据权利要求5或者6所述的热式气体流量计，其特征在于，

在测量期间或者未测量期间，以第1发热电阻体或者第2发热电阻体 温度低的一方的温度成为350℃以上的方式进行控制。

10.根据权利要求9所述的热式气体流量计，其特征在于，

第1和第2发热电阻体两者或者其中任一方具有过加热防止机构，第 1和第2任一个发热电阻体，实测值或者由计算求出的推测发热温度，达 到事先设定的目标上限温度，并且在变为此目标上限温度以下之前的期 间，以实际温度变为与目标上限温度并一定，或者抑制到其以下的温度的 方式进行控制。

11.根据权利要求5或6的热式气体流量计，其特征在于，

1个传感器元件具有第1发热电阻体、测温电阻体和第2发热电阻体， 并且支撑每个电阻体的导体从发热部向一个方向突出，或者集中到一处配 置。

12.根据权利要求11所述的热式气体流量计，其特征在于，

将导线多次缠绕配置在作为基体的圆柱状绝缘体上，并且在其表层形 成用于绝缘保护导体的绝缘层。

13.根据权利要求11所述的热式气体流量计，其特征在于，

在层叠的绝缘层间形成多个电阻体。