[发明专利]固体摄像元件无效
申请号: | 200710136830.7 | 申请日: | 2007-07-17 |
公开(公告)号: | CN101114665A | 公开(公告)日: | 2008-01-30 |
发明(设计)人: | 伊泽慎一郎 | 申请(专利权)人: | 三洋电机株式会社;三洋半导体株式会社 |
主分类号: | H01L27/148 | 分类号: | H01L27/148 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固体 摄像 元件 | ||
1.一种固体摄像元件,具有:
在第一导电型的半导体基板的主面以相互平行方式设置的第二导电型的多个第一沟道区域;
在相邻的上述第一沟道区域之间所设置的第二导电型的溢出沟槽区域;
在上述第一沟道区域和上述溢出沟槽区域之间所设置的第一导电型的多个分离区域;和
在上述多个第一沟道区域上形成且在与上述多个第一沟道区域相交叉的方向以相互平行的方式所设置的多个第一传送电极,
该固体摄像元件,设置有第二导电型的第二沟道区域,其位于上述第一沟道区域和规定的上述第一传送电极相交叉的区域附近,并且在上述半导体基板的主面浓度比上述第一沟道区域高,
与上述第二沟道区域相邻的上述溢出沟槽区域具有朝向上述第二沟道区域的突出部。
2.根据权利要求1所述的固体摄像元件,其特征在于,
上述第二沟道区域设置在上述第一沟道区域和至少两个连续的上述第一传送电极相交叉的区域附近,
上述突出部朝向相邻的上述第二沟道区域的一方突出,重叠有上述突出部的上述第一传送电极的数目比重叠有上述第二沟道区域的上述第一传送电极的数目少。
3.根据权利要求1所述的固体摄像元件,其特征在于,
上述第二沟道区域设置在上述第一沟道区域和至少两个连续的上述第一传送电极相交叉的区域附近,
上述突出部朝向相邻的上述第二沟道区域的两方突出,重叠有上述突出部的上述第一传送电极的数目比重叠有上述第二沟道区域的上述第一传送电极的数目少。
4.根据权利要求1所述的固体摄像元件,其特征在于,
将上述溢出沟槽区域形成在每隔一个的上述分离区域,
上述第二沟道区域设置在上述第一沟道区域和至少两个连续的上述第一传送电极相交叉的区域附近,
上述突出部朝向相邻的上述第一沟道区域的两方突出,重叠有上述突出部的上述第一传送电极的数目比重叠有上述第二沟道区域的上述第一传送电极的数目少。
5.根据权利要求2所述的固体摄像元件,其特征在于,
在上述第二沟道区域和上述分离区域之间设置有上述第一沟道区域。
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