[发明专利]用于从工件上分离微型样品的方法

权利要求书

1.一种用于从工件上分离微型样品并且将所述样品附加在样品载体上的方法，所述方法包括：

聚焦波束(3)于所述工件(2)上以便从所述工件上去除材料；

通过在样品与样品载体上沉积材料的连续体(9)而连接所述样品载体(6)与所述样品(1)；以及

从所述工件上彻底分离所述样品；

其特征在于：

在连接过程中，所述样品载体与所述样品由间隙隔开，因此，在连接过程中所述样品载体不使所述样品移位。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述材料连续体由气相或汽相原料的沉积物形成。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述沉积由电子束、离子束或激光束诱导，由电子束诱导的沉积即电子束诱导沉积或EBID，由离子束诱导的沉积即离子束诱导沉积或IBID，由激光束诱导的沉积即激光诱导沉积或LID。

4.根据上述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，在沉积形成所述材料连续体(9)的材料时，所述样品载体(6)与所述工件(2)接触，因此，样品载体与连接在所述工件上的所述样品之间的相对位置保持不变。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在连接所述样品载体(6)与所述样品(1)之前，用聚焦束将所述样本载体(6)的形状修改成适当的形状，以便在其接触所述工件(2)的同时接近所述样本(1)但不与所述样本(1)接触。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在真空室中从所述工件(2)上分离所述样品(1)，而修改所述样品载体(6)的形状在相同的真空室中进行。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，修改所述样品载体(6)的形状所用的聚焦束为电子束、离子束或激光束。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，成形所述样品载体所用的聚焦束也被用于诱导所述材料连续体(9)的形成。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，成形所述样品载体(6)所用的聚焦束与从所述工件(2)上去除材料所用的聚焦束相同。

10.根据上述权利要求中的任一项所述的方法，其特征在于，通过使所述样品从所述工件上断裂，将所述样品(1)从所述工件(2)上彻底分离。