[发明专利]特别是双层折叠磁控管的多磁控管的联动扫描

权利要求书

1.一种联动磁控管，包括：

支撑结构；

由所述支撑结构通过各自的弹簧机构分开地、弹性地并部分地支撑并且在 所述支撑结构的下方的多个磁控管，每一个所述磁控管包括：

各自的磁体排列，所述各自的磁体排列具有在相反磁性的磁极之间形 成的封闭路径，

各自的磁板，所述各自的磁板与所述磁极磁性耦合并支撑所述各自的 磁体排列，从而多个磁体排列可沿垂直方向单独移动，以及

各自的滚动或滑动装置，所述各自的滚动或滑动装置在与所述支撑结 构相对的所述各自磁板的侧上形成，以在靶组件上提供每一个所述磁控管 的部分的支撑和水平扫描。

2.根据权利要求1所述的联动磁控管，其特征在于，进一步包括用于以 二维图案移动所述支撑结构的支撑板的扫描机构。

3.根据权利要求1所述的联动磁控管，其特征在于，所述支撑结构包括 非磁性板。

4.一种联动磁控管，包括：

支撑结构；以及

由所述支撑结构通过各自的弹簧机构分开地、弹性地并部分地支撑并且在 所述支撑结构下方的多个磁控管，从而所述多个磁控管可沿垂直方向单独移 动，

其中所述多个磁控管的每一个还包括各自的滚动或滑动装置，所述各自的 滚动或滑动装置在与所述支撑结构相对的磁板的侧上形成，以在靶组件上提供 所述磁控管的部分的支撑和水平扫描。

5.根据权利要求4的联动磁控管，其特征在于，进一步包括扫描机构， 用于以二维图案移动所述支撑结构，该二维图案具有沿着各个非平行方向延伸 的部分。

6.根据权利要求4或5的联动磁控管，其特征在于，所述支撑结构包括 非磁性板。