[发明专利]狭口阀

权利要求书

1.一种工艺腔室的阀组件，包括：

外壳，其具有设置在其壁中的开口以及通过该开口可传送衬底；

门，在基本平行于所述外壳的所述壁的平面中可移动耦接到所述外壳，用 于选择性地密封所述开口；

可压缩密封构件，至少部分设置在所述门的上表面和所述外壳的相应表面 之间，用于当所述门位于关闭位置时在基本垂直于所述壁的方向上通过所述可 压缩密封构件的压缩而在二者之间形成密封；以及

机械装置，用于限制所述可压缩密封构件对在所述外壳的工艺腔室侧的环 境的暴露。

2.根据权利要求1所述的阀组件，其特征在于，所述外壳进一步包含：

密封表面，设置在所述开口上方并基本垂直于所述壁。

3.根据权利要求2所述的阀组件，其特征在于，所述可压缩密封构件设 置在所述门的上表面上，用于当所述门位于关闭位置时啮合所述外壳的所述密 封表面。

4.根据权利要求1所述的阀组件，其特征在于，所述机械装置包含当所 述门位于关闭位置时设置在所述可压缩密封构件和所述开口之间的物理阻挡 层。

5.根据权利要求4所述的阀组件，其特征在于，所述物理阻挡层包含隆 起部、凹槽、壁架、壁、或者当所述门位于关闭位置时提供在所述可压缩密封 构件和所述开口之间的阻塞的构件的至少其中之一。

6.根据权利要求1所述的阀组件，其特征在于，所述机械装置包含：

歧管，在接近所述密封表面的外壳中形成；以及

多个气孔，在所述外壳中形成并从所述歧管延伸到所述外壳的外表面用于 当所述门位于关闭位置时允许传输到所述歧管的压缩气体撞击所述可压缩密 封构件。

7.根据权利要求6所述的阀组件，其特征在于，所述机械装置进一步包 含当所述门位于关闭位置时设置在所述可压缩密封构件和所述开口之间的物 理阻挡层。

8.根据权利要求7所述的阀组件，其特征在于，所述物理阻挡层包含隆 起部、壁架或凹槽的至少其中之一。

9.一种衬底处理系统，包含：

工艺腔室，具有在其侧壁中形成的开口；以及

阀组件，接近所述开口设置用于选择性密封所述开口，所述阀组件包含：

外壳，具有设置在其壁中的开口并且通过该开口传送衬底；

门，在基本平行于所述外壳的所述壁的平面中可移动地耦接到所述外 壳，用于选择性地密封所述开口；

可压缩密封构件，至少部分设置在所述门的上表面和所述外壳的相应 表面之间，当所述门位于关闭位置时在基本垂直于所述壁的方向上通过所述可 压缩密封构件的压缩而在所述门的上表面和所述外壳的相应表面之间形成密 封；以及

机械装置，用于限制可压缩密封构件对所述外壳的工艺腔室侧上的环 境的暴露。

10.根据权利要求9所述的衬底处理系统，其特征在于，所述外壳进一步 包含：

密封表面，设置在所述开口上方并基本垂直于所述壁。

11.根据权利要求10所述的衬底处理系统，其特征在于，所述可压缩密 封构件设置在所述门的上表面上，用于当所述门位于关闭位置时啮合所述外壳 的所述密封表面。

12.根据权利要求9所述的衬底处理系统，其特征在于，所述机械装置包 含当所述门位于关闭位置时设置在所述可压缩密封构件和所述开口之间的物 理阻挡层。

13.根据权利要求12所述的衬底处理系统，其特征在于，所述物理阻挡 层包含隆起部、凹槽、壁架、壁、或者当所述门位于关闭位置时提供在所述可 压缩密封构件和所述开口之间的阻塞的构件的至少其中之一。