[发明专利]用于传送样品的传送机构

权利要求书

1.一种用于将样品(1)从在第一保持件(10)内的第一位置传送到在第二保持件(20)内的第二位置和/或反之亦然的传送机构，每个保持件(10、20)装备成可脱离地保持样品(1)，样品(1)在保持件(10、20)之间的传送在不同于第二位置的传送位置中进行，其特征在于，在样品(1)在保持件(10、20)之间传送时，机械引导机构以高于第二位置的共同精度的共同精度定位保持件(10、20)，并且在样品在第二位置上时，所述机械引导机构不定位至少一个保持件。

2.如权利要求1所述的传送机构，其特征在于，机械引导机构通过保持件(10、20)的形状协作来形成。

3.如权利要求1所述的传送机构，其特征在于，机械引导机构通过两个保持件与分开构件(31)的协作形成，在传送样品(1)时，所述构件通过两个保持件(10、20)可脱离地接触。

4.如上述权利要求任一项所述的传送机构，其特征在于，至少一个保持件(40)装备成保持多个样品(1-i)。

5.如上述权利要求任一项所述的传送机构，其特征在于，传送机构装备成在真空环境下操作。

6.如上述权利要求任一项所述的传送机构，其特征在于，在样品传送过程中保持件(10、20)在任何方向上的共同精度必须小于50μm。

7.装备有如上述权利要求任一项所述的传送机构的设备。

8.如权利要求7所述的设备，其特征在于，该设备是粒子光学设备。