[发明专利]洁净储料机和物品的保管方法

说明书

技术领域

本发明涉及将半导体曝光用的标线片(reticule)等物品洁净地保管的洁净储料机、及在其中的保管方法。

背景技术

在半导体等的曝光中使用标线片，标线片被收纳在晶圆盒(ポツト)中地被运送于储料机和曝光装置之间。关于标线片的保管，专利文献1公开有以下内容：将保管裸露的标线片的架和保管晶圆盒的架设置在运送装置的行驶路径的两侧。但是，若如此则可能会因运送装置的行驶气流而污染标线片。

专利文献1：日本专利3682170号

发明内容

本发明的目的为，将多个物品和其容器紧凑且洁净地进行保管。

在方案2、3的发明中追加的目的为，将多个物品和其容器进一步紧凑地进行保管。

在方案4的发明中追加的目的为，可使收纳有物品的容器有效率地出入库。

本发明的其他目的为，提供一种将多个物品和其容器紧凑且洁净地进行保管并出入库的方法。

本发明的特征为，在将物品收纳在容器中并从出入库口进行出入库，并且在洁净储料机内可使洁净气体向下吹气的洁净储料机中，设置用于将物品相对于容器进行取出装入的开闭装置，并且将从容器取出的物品的保管架设置在上侧、容器的保管架设置在下侧、并上下配置为在俯视时重叠，还设置有：用于在上述开闭装置和出入库口及容器的保管架之间运送容器的容器运送装置；和用于在上述开闭装置和 物品的保管架之间运送物品的物品运送装置；

上述物品的保管架和容器的保管架为，各自相互独立地自由水平旋转的旋转式的架；

在上述物品的保管架和容器的保管架的一侧，上述物品运送装置和容器运送装置隔着上述开闭装置地相对配置。

还优选，在上述容器运送装置可运送容器的位置上，设置独立于上述容器保管架的、用于收纳容器的固定的架。

并且，本发明的特征为，在将物品收纳在容器中并从出入库口进行出入库，并且可使洁净气体向下吹气来对物品进行洁净保管的方法中，通过开闭装置将物品相对于从出入库口进行出入库的容器进行取出装入，并且将容器的保管架设置在下侧、物品的保管架设置在上侧、并将其上下配置为在俯视时重叠，并以从物品的保管架侧向容器的保管架侧的顺序供给洁净气体，并且设置用于运送容器的容器运送装置、和用于运送物品的物品运送装置，在开闭装置和出入库口及容器的保管架之间通过容器运送装置运送容器，并且在物品的保管架和开闭装置之间通过物品运送装置运送物品；上述物品的保管架和容器的保管架为，各自相互独立地自由水平旋转的旋转式架；在上述物品的保管架和容器的保管架的一侧，上述物品运送装置和容器运送装置隔着上述开闭装置地相对配置。

在本说明书中，关于洁净储料机的记载只要没有特别说明，也适用于使用洁净储料机的物品的保管方法，并且关于物品的保管方法的记载只要没有特别说明，也适用于洁净储料机。并且，在实施例中以保管半导体曝光用的标线片和收纳该标线片的晶圆盒为例，但是保管物品的种类和收纳物品的容器的种类本身是任意的。

在本发明中，将物品的保管架配置在上侧、容器的保管架配置在下侧，并供给洁净气体的下沉气流，因此能够将从容器中取出的物品洁净地保管在保管架中。并且，由于是将物品从容器取出而进行保管，因此可将多个物品紧凑地保管。进行保管的物品的数量与容器的数量不必相等，例如当使容器的数量比物品的数量少，并只保管物品的出入库所需的数量的容器时，可进一步紧凑地收纳多个物品。

此处，当使物品的保管架和容器的保管架通过各自相互独立地自由水平旋转的旋转式的架(以下，称为旋转架)构成时，使容器运送装置和物品运送装置在旋转架的规定的位置上，将容器和物品从架取出装入即可。因此，可缩小这些运送装置的动作范围，结果，可进一步紧凑地保管多个物品和容器。并且，在旋转架上，在架的中心部留有空间，可将该部分用作洁净气体的排气路。

这里，当在物品的保管架和容器的保管架的一侧、将物品运送装置和容器运送装置隔着开闭装置地相对配置时，可将这些运送装置进一步紧凑地配置。特别是，当这些运送装置由运送装置主体和其升降机构构成时，使容器和物品的旋转架分别为上下多层，并且即使开闭装置与这些架的高度水平不同，也可容易地运送容器和物品。

这里，当设置独立于容器的旋转架的、用于收纳容器的固定的架，并预先保管收纳有预定出库的物品的容器时，可在短时间内有效率地进行出库。并且，在连续进行入库的情况下，在将容器安置到开闭装置上之前可暂时保管在固定的架上。因此，可有效率地进行出入库。

附图说明

图1是实施例的洁净储料机的正视图。