[发明专利]光源装置

说明书

技术领域

本发明涉及光源装置，特别涉及保护用于读取在灯上显示的灯数据的灯数据读取部的光源装置。

背景技术

以往，利用将放电灯用作光源的曝光装置，对基板曝光用于制造LSI等的掩模的图案。曝光之前，需要准确设定掩模和基板的位置关系。因此，在专利文献1所公开的方法中，利用摄像装置拍摄掩模和基板的校准标记。对准掩模和基板的相对位置，使两个标记一致。完成位置对准之后，使摄像装置退避。

此外，若不是波长、光量等满足预定规格的放电灯，则不能高精度地将基板曝光。新安装灯时，需要确认到放电灯满足预定规格。由于长期使用灯会引起特性劣化，所以如果不满足规格，则需要更换灯。更换灯时，也需要确认到放电灯满足预定规格。此处，本申请人在日本特愿2006-100000号中提出了能够确认到放电灯是否适合的光源装置。该光源装置读取灯头上显示的灯数据来进行确认。在灯头座上设置读取灯数据的读取装置。自动判断所安装的放电灯是否是合适的放电灯。若是合适的放电灯，则驱动放电灯，并管理放电灯的使用状态和使用履历。

【专利文献1】日本特开平07-013340号公报

【专利文献2】日本特愿2006-100000号说明书

但是，现有的灯数据读取方法存在如下问题。从灯头座施加会使灯电极间产生绝缘破坏的脉冲状的高电压，以点亮放电灯，所以有可能因高电压导致读取装置的构成部件被绝缘破坏。并且，在利用微波来点亮的无电极放电灯、利用高频电流来点亮的放电灯中，读取装置的构成部件因电磁波而显著劣化，或不能进行正常的读取动作。而且，当放电灯点亮时，灯头座周围处于200℃～300℃左右的高温状态，所以读取装置的构成部件因热而劣化。若读取装置劣化，则不能准确管理灯的使用状态、使用履历等。若为了避免这种情况，而具备保护读取装置免受热或高电压损害的冷却结构或绝缘结构，则光源装置的结构变复杂，成本增高。此外，由于劣化原因的条件明显不同，因此，难以在光源装置的放电灯的管理中直接应用专利文献1所公开的将其插拔于摄像装置的光路的方法。

发明内容

本发明的目的在于，解决上述现有问题，在光源装置中，保护用于读取灯在灯头上显示的灯数据的读取装置免受灯的热、高电压等劣化原因的损害。

为了解决上述课题，在本发明中，光源装置具备：灯，其具有显示了灯数据的灯头；灯头座，其保持灯头；读取单元，其读取灯数据；移动单元，其使读取单元在读取灯数据的读取位置和安全的退避位置之间移动；以及控制单元，其控制移动单元，使得当将灯头保持于灯头座上时使读取单元移动到读取位置，并且，在点亮灯之前使读取单元移动到退避位置。

发明效果

通过采用上述结构，能够保护灯数据的读取装置免受灯的热或高电压损害而防止劣化，准确地管理放电灯的使用状态、使用履历等。

附图说明

图1是示出将本发明的实施例中的光源装置的灯数据读取部配置成与灯数据显示部对置的状态的外观图。

图2是示出将本发明的实施例中的光源装置的灯数据读取部配置成与灯数据显示部对置的状态的剖面图。

图3是示出使本发明的实施例中的光源装置的灯数据读取部退避到遮断部的状态的纵剖面图。

图4是示出使本发明的实施例中的光源装置的变形例的灯数据读取部退避的状态的纵剖面图。

符号说明

1阳极；2阴极；3内部导棒；4金属箔；5封闭管部；6粘合剂；7外部导棒；8银焊料；9发光部；10灯泡部；20灯头；21圆筒部；22圆筒部的端面；23突出部；25灯数据显示部；30灯头座；31缺口部；32灯头座的端面；33孔部；34窗部；40灯数据读取装置；41臂部；44凹部；45灯数据读取部；50遮蔽部；51遮断部；54遮光空间；60移动装置。

具体实施方式

下面，参照图1～图4，详细说明用于实施本发明的优选方式。

【实施例】

本发明的实施例是如下的光源装置，在读取灯数据时，将灯数据读取部插入到灯头座的缺口部，在点亮放电灯时，使灯数据读取部退避。