[发明专利]具有激光光束输出的自动修正功能的激光装置

权利要求书

1.一种激光装置，具有激光振荡部(12)、对该激光振荡部供给振荡用电力(E)的电源(14)、测定由该激光振荡部振荡的激光光束(L)的输出(P)的输出测定部(16)、根据激光振荡指令值(C)和由该输出测定部得到的激光输出测定值(M)控制该电源的电源控制部(18)，其特征在于，

所述电源控制部(18)，具有：

按照激光振荡指令值(C)向所述电源(14)指令向所述激光振荡部(12)的电力供给动作的电力供给指令部(20)，和

根据所述电力供给指令部所给予的多个不同的激光振荡指令值(C；C1，C2，...Cn)、以及关于按照这些激光振荡指令值所述激光振荡部(12)振荡的激光光束(L；L1，L2，...Ln)，由所述输出测定部(16)得到的多个不同的激光输出测定值(M；M1，M2，...Mn)，求出近似地表示该激光输出测定值对于该激光振荡指令值的相关性的函数(F；Fs；Fp)的函数运算部(22)，

所述电力供给指令部在所述函数运算部求出所述函数之后，根据该函数对激光振荡指令值执行修正处理，并且按照进行了该修正处理后的该激光振荡指令值，向所述电源指令所述电力供给动作。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

所述函数运算部(22)作为所述激光振荡指令值(C)使用供给电力指令值(Cs)，求出近似地表示所述激光输出测定值(M)对于该供给电力指令值的相关性的所述函数(Fs)，所述电力供给指令部(20)作为所述激光振荡指令值使用激光输出指令值(Cp)，并且作为对所述激光振荡指令值施行的所述修正处理，按照所述函数运算部求出的所述函数的逆函数(IFs)，由该激光输出指令值计算供给电力指令值(Cs)，并对所述电源(14)给予该供给电力指令值，由此来指令所述电力供给动作。

3.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于，

所述函数运算部(22)作为所述激光振荡指令值(C)使用激光输出指令值(Cp)，求出近似地表示所述激光输出测定值(M)对于该激光输出指令值的相关性的所述函数(Fp)，所述电力供给指令部(20)作为所述激光振荡指令值使用激光输出指令值(Cp)，并且作为对所述激光振荡指令值执行的所述修正处理，按照与所述函数运算部求出的所述函数表示的相关性相反的相关性，由该激光输出指令值计算供给电力指令值(Cs)，并对所述电源(14)给予该供给电力指令值，由此来指令所述电力供给动作。

4.根据权利要求1～3的任何一项所述的激光装置，其特征在于，

所述电源控制部(18)还具有存储部(34)，其用于存储所述多个不同的激光振荡指令值(C；C1，C2，...Cn)以及所述多个不同的激光输出测定值(M；M1，M2，...Mn)、和所述函数(F；Fs；Fp)中的至少一方。