[发明专利]电解电容器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及电解电容器的制造方法。

背景技术

通常，固体电解电容器包括：由钛、铌、钽等阀作用金属或以这些阀作用金属为主要成分的合金构成的阳极，在阳极表面形成的由这些阀作用金属的氧化物构成的电介体层，在该电介体层上形成的由具有导电性的氧化物或导电性高分子构成的固体电解质层，和在该固体电解质层上形成的由碳层和银涂料层构成的阴极。其中，上述电介体层通过使阳极在磷酸水溶液等电解液中进行阳极氧化而形成(例如参照日本特开平6-151258号公报、日本特开2004-18966号公报)。

可是，上述由阀作用金属的氧化物构成的电介体层容易受到热的影响，特别是在对使用铌或钛的阳极进行阳极氧化而形成的电介体层中，存在容易受到热的影响的问题。即，在现有的固体电解电容器中，进行软溶工序等热处理工序时，存在因上述电解质层的伸缩等造成电介体层中产生龟裂或电介体层的结晶化等，而导致漏电流增加的问题。

此外，近年来提出了在阳极使用铌的固体电解电容器中，在该阳极表面设置具有铌氧化物层和铌氮化物区域的电介体层，通过软溶工序中的加热，抑制静电电容的变化的固体电解电容器(例如参照日本特开平11-329902号公报)。

可是，即便是上述在使用铌的阳极表面设置具有铌氧化物层和铌氮化物区域的电介体层的固体电解电容器中，也不能充分抑制在进行软溶工序等热处理工序时电介体层中产生龟裂或电介体层结晶化的现象，仍然存在有漏电流增加的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电解电容器的制造方法，该电解电容器的静电电容大且漏电流小、并且在进行软溶工序等热处理工序时这些特性也不易恶化。

本发明提供的电解电容器的制造方法，其特征在于，包括：形成含有阀作用金属的阳极的工序；在阳极上形成电介体层的工序；在电介体层上配置阴极的工序；将阳极导线与阳极连接的工序；将阴极导线与阴极连接的工序；和形成树脂层的工序，使其包含阳极、阴极和电介体层，并且阳极导线的一部分和阴极导线的一部分露出。其中，形成电介体层的工序包括在含有六氟化物离子的浓度为0.001重量％～5.0重量％的电解液中进行阳极氧化的工序。

其中，作为上述的阳极可以使用钛、铌、钽等阀作用金属或以这些阀作用金属为主要成分的合金。此外，作为加入上述电解液中的六氟化物，例如可以使用通式(NH₄)_XMF₆(式中，M为选自磷、硅、铌、钛、锗、锆中的元素)所示的铵盐。

在本发明中，作为阴极，可以以与阳极相对的方式配置板状或箔状的金属等。这种情况下，可以在阳极和电介体层与阴极之间加入电解液。

此外，在本发明中，通过在电介体层上形成含有碳颗粒或银颗粒等的糊剂状的导电层，可以将该导电层作为阴极。这种情况下，可以在电介体层上直接形成由上述导电层构成的阴极，或者也可以在形成于电介体层上的由聚吡咯等导电性高分子或二氧化锰等导电性氧化物构成的电解质层上形成阴极。

在上述一个方面的电解电容器的制造方法中，优选电解液含有选自六氟硅酸铵、六氟锗酸铵和六氟锆酸铵中的至少一种。

如本发明的电解电容器的制造方法所述，如果将含有阀作用金属的阳极在含有六氟化物离子的电解液中进行阳极氧化，就能够形成电介体层，该电介体层包括位于阳极一侧的第一电介体层和形成于该第一电介体层上的第二电介体层。

在位于阴极一侧的第二电介体层中，除了阀作用金属和氧以外，还含有构成上述六氟化物离子的金属元素(上述通式中的M)和氟。此外，氧和氟的浓度从第一电介体层一侧向阴极一侧减少，而构成上述六氟化物离子的金属元素的浓度向表面增加。

此外，在位于阳极一侧的第一电介体层中，几乎不含有构成上述六氟化物离子的金属元素，并且氟的浓度也高于第二电介体层。

此外，作为上述的电解液，在使用含有选自六氟硅酸铵、六氟锗酸铵和六氟锆酸铵中的至少一种铵盐的电解液的情况下，可以形成含有氟、并且含有选自硅、锗、锆中的至少一种元素和氮的第二电介体层。

其中，在第二电介体层中，随着向氧浓度低的阴极一侧，对热的伸缩响应性提高，所以在软溶工序等热处理工序时，即使由于电解质层的伸缩而在电介体层中作用有热应力，在第二电介体层中也能够缓解该热应力。这样，作用在第一电介体层中的热应力被缓解，能够抑制在电介体层中产生龟裂，抑制漏电流的增加。