[发明专利]研磨液供应装置的气泡抑制器

权利要求书

1.研磨液供应装置的气泡抑制器系统，包含：

存储研磨液的研磨液桶；

容器，研磨液从上述研磨液桶供应至该容器；及

气泡抑制器，设于上述研磨液桶和上述容器之间，该气泡抑制器收集从上述研磨液桶供应的研磨液产生的气泡。

2.根据权利要求1所述的气泡抑制器系统，其特征在于还包含：

连接上述容器的真空泵，该真空泵降低上述容器的压强，以使研磨液从上述气泡抑制器供应至上述容器。

3.根据权利要求1所述的气泡抑制器系统，其特征在于，上述气泡抑制器包含抑制器传感器，用于检测上述气泡抑制器里研磨液的量。

4.根据权利要求1所述的气泡抑制器系统，其特征在于，还包含：

连接到上述气泡抑制器的吸出器，该吸出器在上述气泡抑制器中产生相对低的压强，以使研磨液从上述研磨液桶供应至上述气泡抑制器。

5.根据权利要求1所述的气泡抑制器系统，其特征在于，上述容器包含容器传感器，用于检测上述容器里研磨液的量。

6.根据权利要求1所述的气泡抑制器系统，其特征在于，还包含：

桶过滤器，设于上述研磨液桶和上述气泡抑制器之间，该桶过滤器过滤掉从上述研磨液桶供应的研磨液里的杂质。

7.根据权利要求1所述的气泡抑制器系统，其特征在于，上述气泡抑制器用气体或去离子水清洗。

8.根据权利要求1所述的气泡抑制器系统，其特征在于，还包含：

增压泵，设于上述研磨液桶和上述气泡抑制器之间，该增压泵产生预定的压强，以使存储在上述研磨液桶里的研磨液通过上述气泡抑制器供应至上述容器。

9.根据权利要求8所述的气泡抑制器系统，其特征在于，当上述气泡抑制器里的研磨液减少时，研磨液不供应至上述容器，而是通过上述增压泵从上述研磨液桶供应至上述气泡抑制器。

10.根据权利要求8所述的气泡抑制器系统，其特征在于，在上述气泡抑制器和上述研磨液桶之间设有管道，保留在上述气泡抑制器中的研磨液供应至上述研磨液桶而得以循环。