[发明专利]结晶金属膜无效
| 申请号： | 200710140895.9 | 申请日： | 2007-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101144184A | 公开（公告）日： | 2008-03-19 |
| 发明（设计）人： | 石崎明美;木村勲;大塚满 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/02 | 分类号： | C30B29/02;H01L21/283;C23C30/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结晶 金属膜 | ||
【权利要求书】：
1.具有立方晶体结构的金属膜，该金属膜具有周期性的面内晶体取向图案，所述晶体取向围绕着特定的晶轴方向逐渐地旋转以致{100}面、{110}面和{111}面得以出现。
2.根据权利要求1的金属膜，其中每个具有周期性的面内晶体取向图案的区域在10μm或更长的长度上延伸。
3.根据权利要求1的金属膜，其中所述金属膜是钽膜、钨膜、铬膜、或钼膜。
4.根据权利要求1的金属膜，其中所述金属膜在衬底上形成。
5.根据权利要求4的金属膜，其中所述衬底包括硅、氧化硅、氧化铍、或氧化铝。
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