[发明专利]位置测量装置和用于位置测量装置装配的方法有效

专利信息
申请号: 200710141311.X 申请日: 2007-08-06
公开(公告)号: CN101178318A 公开(公告)日: 2008-05-14
发明(设计)人: A·施罗特;T·贾杰;W·埃克霍恩 申请(专利权)人: 约翰尼斯海登海恩博士股份有限公司
主分类号: G01D5/347 分类号: G01D5/347
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 曹若
地址: 德国特劳*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 位置 测量 装置 用于 装配 方法
【权利要求书】:

1.用于测量第一物体(1)相对第二物体(2)的相对位置的位置测量装置,具有

-带有分度支架(11)、可在第一物体(1)上固定的第一单元(10);

-带有用于以预先确定的扫描距离(A)扫描分度支架(11)的分度(12)的扫描元件(21)的、可在第二物体(2)上固定的第二单元(20);

-校准元件(30),它可装入第一单元(10)的止动面(13)和第二单元(20)的止动面(22)之间,由此确定在扫描元件(21)和分度支架(11)之间在扫描距离(A)的方向上的用于在待测物体(1、2)上装配的位置关系,其特征在于,

-第一单元(10)的止动面(13)或者第二单元(20)的止动面(22)由止动元件(23)构成,它在扫描距离(A)的方向上可定位地支承在相应的单元(10、20)上,并且在实现定位之后可在其上固定。

2.根据权利要求1所述的位置测量装置,其特征在于,第二单元(20)的止动元件(23)在第二单元(20)的导向面(241)上在扫描距离(A)的方向上可移动地支承。

3.根据权利要求2所述的位置测量装置,其特征在于,导向面(241)是在第二单元(20)的壳体(24)中的孔(25)的壁。

4.根据前面的权利要求2或者3中任一项所述的位置测量装置,其特征在于,止动元件(23)在实现定位后粘结在导向面(241)上。

5.根据前面的权利要求2至4中任一项所述的位置测量装置,其特征在于,第二单元(20)具有在扫描距离(A)的方向上走向的导向(232),校准元件(30)可在第一单元(10)的止动面(13)的方向上在该导向上被导引地装入。

6.根据权利要求5所述的位置测量装置,其特征在于,构造校准元件(30)和导向部(232),以使导向部(232)在第一角位置锁定校准元件(30),直到它接触第一单元(10)的止动面(13),并且然后校准元件(30)可到第二角位置,在那里它附加地同与第一单元(10)的止动面(13)间隔的第二单元(20)的止动面(22)相接触。

7.根据权利要求6所述的位置测量装置,其特征在于,导向部(232)是止动元件(23)的在扫描距离(A)的方向上走向的孔。

8.用于测量第一物体(1)相对第二物体(2)的相对位置的位置测量装置装配的方法,测量装置带有可相对于位置测量装置的第一单元(10)移动的位置测量装置的第二单元(20),其中:

位置测量装置的第一单元(10)可固定在第一物体(1)上;

位置测量装置的第二单元(20)可固定在第二物体(2)上,其中通过在第一单元(10)的止动面(13)上以及在第二单元(20)的止动面(22)上安放量规(30),在第二单元(20)的扫描元件(21)和第二单元(20)的分度(12)之间所要求的扫描距离(A)可调节,其特征在于,

在第一单元(10)和第二单元(20)固定之前,止动面(13、22)中的一个在扫描距离(A)的方向上在相应的单元(10、20)上,在最佳调节的扫描距离(A)时定位并且在其上固定。

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