[发明专利]可变形镜及该可变形镜的制造方法

权利要求书

1.一种可变形镜，包括：

支承基板；

镜基板，其与该支承基板相对，且在与面对该支承基板的表面相对的表面上具有反射面；

固定构件，其设置在该支承基板上，并固定该镜基板；以及

至少一个压电致动器，设置在该支承基板上，使得该镜基板的、被该固定构件固定的一部分所包围的区域能够变形；其中：

所述压电致动器由交替叠置的多个层状压电构件和多个层状电极构成，并且所述层状电极交替连接到第一公共电极和第二公共电极，该第一公共电极和该第二公共电极设置在所述压电致动器的、与叠置方向近似平行的侧面，以使得所述层状电极交替具有不同的极性；

该支承基板设置有至少一个导电接合部分以接合至所述压电致动器，所述导电接合部分被分成两个区域；

所述压电致动器的接合表面设置有第一金属膜，该第一金属膜被分成彼此不电连接的第一区域和第二区域；以及

所述压电致动器的每一个侧面均设置有第二金属膜，该第二金属膜用来使该第一公共电极和该第一区域电连接，或使该第二公共电极和该第二区域电连接。

2.如权利要求1所述的可变形镜，其中该第一金属膜和该第二金属膜由同样的材料制成。

3.如权利要求1所述的可变形镜，其中在该支承基板上形成布线图案，并且将该布线图案从该接合部分的两个分开的区域的每一个中引出，从而能够实现外部供电。

4.如权利要求1所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。

5.如权利要求2所述的可变形镜，其中在该支承基板上形成布线图案，并且将该布线图案从该接合部分的两个分开的区域的每一个中引出，从而能够实现外部供电。

6.如权利要求2所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。

7.如权利要求3所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。

8.如权利要求4所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。

9.如权利要求5所述的可变形镜，其中该第一金属膜起到通过热压接合将所述压电致动器和该接合部分彼此接合的接合膜的作用。

10.如权利要求6所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。

11.如权利要求7所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。

12.如权利要求9所述的可变形镜，其中该第一金属膜是Au膜。

13.一种可变形镜的制造方法，该可变形镜包括：支承基板；镜基板，其与该支承基板相对，且在与面对该支承基板的表面相对的表面上具有反射面；固定构件，其设置在该支承基板上，并固定该镜基板；至少一个压电致动器，设置在该支承基板上，使得该镜基板的、被该固定构件固定的一部分所包围的区域能够变形；所述压电致动器由交替叠置的多个层状压电构件和多个层状电极构成，所述层状电极交替连接到第一公共电极和第二公共电极，该第一公共电极和该第二公共电极设置在所述压电致动器的、与叠置方向近似平行的侧面，以使得所述层状电极交替具有不同的极性，在电压施加至该第一公共电极和该第二公共电极时，该可变形镜能够使该镜基板和该反射面变形，该制造方法包括以下步骤：

第一步骤，在该支承基板上形成至少一个导电接合部分，所述导电接合部分被分成两个区域且接合到所述压电致动器；

第二步骤，在所述压电致动器的、待接合至该接合部分的接合表面上以及所述压电致动器的侧面上，设置金属膜，从而使设置在所述侧面上的该第一公共电极和该第二公共电极电连接到所述压电致动器的接合表面，并且该第一公共电极和该第二公共电极不电连接；以及

第三步骤，在第二步骤之后，在由第一步骤得到的所述接合部分上设置所述压电致动器，并加热和按压所述压电致动器以使其接合至该接合部分。

14.如权利要求13所述的可变形镜的制造方法，其中第一步骤包括以下步骤：形成布线图案，该布线图案在形成该接合部分时从该接合部分的每一个区域中引出，从而能够实现外部供电。