[发明专利]贴合方法及贴合基板制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种贴合两张基板的贴合方法和贴合基板制造装置，详细地说，本发明涉及一种用于液晶显示装置等的平板显示器的贴合两张基板的方法和装置。

背景技术

配备在液晶显示装置等中的贴合基板，都有两张玻璃基板。这两张玻璃基板，以数微米左右这样极为狭窄的间隔相向配置，在两玻璃基板之间，密封注入有液晶。其中一张玻璃基板，例如，是阵列基板(TFT基板)，在此阵列基板上，由许多TFT(薄膜晶体管)形成矩阵状。另一张玻璃基板，例如，是滤色片基板(CF基板)，在此CF基板上，形成有滤色片(红，绿，蓝)和遮光膜等。

贴合基板，一般都采用例如两张玻璃基板，其面积大小为连接电脑的15英寸显示用显示器的一个面分成六个面的面积那么大。各张玻璃基板，都区划成可用作各显示器的六个所定区域，在各个单元里都形成有电极。通过贴合两张玻璃基板，以一定间隔排列在各玻璃基板上的相应单元便彼此互相贴合在一起。

制造贴合基板的贴合基板制造装置(以下简称贴合装置)，在其内部具有用于贴合两张基板的真空处理室(例如，参照专利文献1)。在真空处理室内，配置有可水平移动并可水平旋转地支承着的下工作台和与该下工作台相向配置、可上下移动地支承着的上工作台。下玻璃基板载置于下工作台上，上玻璃基板被吸附在上工作台上。然后，利用安装在下工作台的四台摄像装置，对上下玻璃基板进行光学对位。为了进行对位，在上下玻璃基板上，分别描绘有多个(例如四个)对位记号。

如图9所示，在上玻璃基板上标有对位记号A_U、B_U、C_U、D_U，在下玻璃基板上标有对位记号A_L、B_L、C_L、D_L。图9中的黑圆点，表示各对位记号的中心位置。例如，对位记号A_U、B_U、C_U、D_U形成为四方形框状，对位记号A_L、B_L、C_L、D_L形成为四方形形状。贴合装置的控制部，从摄像装置拍摄的各对位记号的图像数据求得各对位记号的坐标值(例如，中心坐标)。其次，控制部在上玻璃基板中，求得连结对角的对位记号(A_U和B_U、C_U和D_U)的两条假想线段A_U-B_U、C_U-D_U，并算出各假想线段A_U-B_U、C_U-D_U与X轴所形成角度的平均值。该平均值表示上玻璃基板相对于X轴的倾角斜率α。同样，控制部算出下玻璃基板相对于X轴的倾角斜率β。然后，控制部从两玻璃基板的倾角斜率，算出上玻璃基板相对于下玻璃基板的倾角斜率Δθ(Δθ＝β-α)，并以此计算值作为旋转修正角度。

其次，控制部算出在上玻璃基板上两条假想线段A_U-B_U、C_U-D_U的中点坐标值。然后，控制部求出连结两中点的假想线段，由该假想线段中点的坐标值，算出上玻璃基板中心的坐标值。同样，控制部算出下玻璃基板中心的坐标值。然后，控制部按照旋转修正角度水平旋转下工作台，使上玻璃基板相对于X轴的倾角斜率跟下玻璃基板的倾角斜率一致。继而，控制部水平移动下工作台，使两玻璃基板的中心一致。详细地说，控制部依据两玻璃基板中心坐标值的差和旋转修正角度，算出X轴方向的位置修正量和Y轴方向的位置修正量，再按照各位置修正量，在X轴和Y轴方向上移动下工作台。

也就是说，如图10所示，下玻璃基板的中心，通过下工作台的旋转从坐标点M_L修正到坐标点M_L1，然后，通过要与上玻璃基板的中心进行对位的下工作台的移动，从坐标点M_L1修正到坐标点M_U。因此，在从一张玻璃基板分割出一个或多个单元的情况下，只要能进行基于两张玻璃基板中心的对位，两玻璃基板对应的单元之间就可以高精度地互相重合。因此，产品(显示用面板)的加工精度得以提高。

专利文献1特开2004-151325号公报