[发明专利]铈系研磨材料及其原料

权利要求书

1.铈系研磨材料，它是作为稀土类氧化物至少含有氧化铈、氧化镧及氧化钕，并含有氟元素的铈系研磨材料，其特征在于，总稀土类氧化物换算重量(TREO)中氧化铈所占重量比(CeO₂/TREO)为45wt％～70wt％，总稀土类氧化物换算重量中氧化镧(La₂O₃)与氧化钕(Nd₂O₃)的重量比(La₂O₃/Nd₂O₃)为1.4～2.8，还有，总稀土类氧化物换算重量中氧化镨所占重量比(Pr₆O₁₁/TREO)为2.0wt％～8.0wt％。

2.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征还在于，总稀土类氧化物换算重量中氧化镧和氧化钕所占的合计重量比[(La₂O₃+Nd₂O₃)/TREO]为25wt％～50wt％。

3.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征还在于，相对于总稀土类氧化物换算重量的氟元素量的重量比(F/TREO)为4.0wt％～9.0wt％。

4.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征还在于，相对于总稀土类氧化物换算重量的铀和钍的合计量的重量比[(U+Th)/TREO]为0.05wt％以下。

5.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征还在于，通过以使用Cu-Kα线或Cu-Kα₁线作为X线源的X射线衍射法测定，在2θ(衍射角)＝20°～30°的范围出现的X射线衍射峰中，稀土类氟氧化物(LnOF)的X射线衍射峰强度、即最强的X射线衍射峰强度与氧化铈(CeO₂)的X射线衍射峰强度、即最强的X射线衍射峰强度的强度比(LnOF/CeO₂)为0.4～0.7。

6.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征还在于，研磨材料粒子的平均粒径(D₅₀)为0.7μm～1.6μm。

7.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征还在于，BET法比表面积为2.0m²/g～5.0m²/g。

8.一种用于制造权利要求1所述铈系研磨材料的原料，它是作为稀土类氧化物至少含有氧化铈、氧化镧及氧化钕的铈系研磨材料用原料，其特征在于，总稀土类氧化物换算重量中氧化铈所占重量比(CeO₂/TREO)为45wt％～70wt％，总稀土类氧化物换算重量中氧化镧(La₂O₃)与氧化钕(Nd₂O₃)的重量比(La₂O₃/Nd₂O₃)为1.4～2.8，还有，总稀土类氧化物换算重量中氧化镨所占重量比(Pr₆O₁₁/TREO)为2.0wt％～8.0wt％。