[发明专利]工厂自动化系统以及相关方法

权利要求书

1. 一种工厂自动化系统，适用于一晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一所述隔间包括由一隔间内高架式晶片运输系统互连的多个制造设备，以及至少一隔间之间高架式晶片运输系统，用以互连所述隔间内高架式晶片运输系统，该工厂自动化系统包括：

一制造执行系统，用以提供关于该晶片制造厂内正被处理中的晶片批次信息；

一物料控制系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的动态流量信息；

一自动化物料搬运系统，用以提供关于该晶片制造厂内的晶片运输的静态路径信息；以及

一实时派发系统，用以响应一传送请求，利用该制造执行系统的批次信息、该物料控制系统的动态流量信息以及该自动化物料搬运系统的静态路径信息，选取含有多个晶片的一晶片载具的一目的地以及到该选取目的地的一路径。

2. 如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中该实时派发系统根据该选取目的地以及路径发送多重微指令至该物料控制系统。

3. 如权利要求2所述的工厂自动化系统，其中该实时派发系统包括一组实时派发规则，用以选取该目的地以及该路径。

4. 如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中该制造执行系统的批次信息包括批次优先信息。

5. 如权利要求1所述的工厂自动化系统，其中该制造执行系统的批次信息包括是否该批次为一超级热批、一正常批或是一控制批的批次。

6. 一种实现一工厂自动化系统的方法，适用于一晶片制造厂，该晶片制造厂包括多个隔间，其中每一所述隔间包括由一隔间内高架式晶片运输系统互连的多个制造设备，以及至少一隔间之间高架式晶片运输系统用以互连所述隔间内高架式晶片运输系统，该方法包括下列步骤：

接收一传送请求以移动一晶片批次；

由一制造执行系统中得到关于该传送请求的批次信息；

由一物料控制系统中得到关于该传送请求的动态流量信息；

由一自动化物料搬运系统中得到关于该传送请求的静态流量信息；

利用该批次信息、该动态流量信息以及该静态流量信息，以选取一目的地以及到该选取目的地的一路径以完成该传送请求；以及

利用该选取目的地以及到该选取目的地的该路径执行该传送。

7. 如权利要求6所述的方法，还包括根据该选取目的地以及路径发送连续的多重微指令至该物料控制系统。

8. 如权利要求6所述的方法，其中该动态流量信息大体上包括实时流量数据。

9. 如权利要求6所述的方法，其中该利用批次信息、动态流量信息以及静态流量信息，以选取目的地以及到选取目的地的路径的步骤还包括下列步骤：

当该传送请求有关于一超级热批或是一正常批的传送时，安排通过一第一路径进行该传送；以及

当该传送请求有关于一控制晶片批的传送时，安排通过长于该第一路径的一第二路径进行该传送。

10. 如权利要求6所述的方法，其中该利用批次信息、动态流量信息以及静态流量信息，以选取目的地以及到选取目的地的路径的步骤还包括下列步骤：

当该传送请求有关于传送一超级热批或是一正常批至一机台且在一第一路径上无流量存在时，安排通过该第一路径进行该传送；以及

当该传送请求有关于该超级热批或是该正常批的传送至该机台且在该第一路径有流量存在时，安排通过长于该第一路径的一第二路径进行该传送。

11. 如权利要求6所述的方法，其中由该制造执行系统中得到关于该传送请求的批次信息的步骤还包括得到批次优先信息。

12. 如权利要求6所述的方法，其中该利用批次信息、动态流量信息以及静态流量信息，以选取目的地以及到选取目的地的路径的步骤还包括下列步骤：

利用一实时派发系统分析该批次信息、该动态流量信息以及该静态流量信息，以选取该目的地以及到该选取目的地的该路径。

13. 如权利要求12所述的方法，其中利用该实时派发系统包括应用一组实时派发规则至该批次信息、该动态流量信息以及该静态流量信息，以选取该目的地以及到该选取目的地的该路径。

14. 如权利要求6所述的方法，其中该利用批次信息、动态流量信息以及静态流量信息，以选取目的地以及到选取目的地的路径的步骤还包括下列步骤：

当该传送请求有关于传送一批次至一机台时，安排通过一高速路径进行该传送；以及

当该传送请求有关于传送一批次至一仓储时，安排通过一低速路径进行该传送。