[发明专利]分子泵无效
| 申请号： | 200710142863.2 | 申请日： | 2007-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN101092965A | 公开（公告）日： | 2007-12-26 |
| 发明（设计）人： | 朱岳 | 申请（专利权）人： | 朱岳 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100081北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
1.一种分子泵，所述的分子泵包括电机组件(1)、动叶轮组件(2)、静叶片(4)、电机主轴(5)、泵壳(6)、泵底盘(7)和排气口(8)；其特征在于：
所述的动叶轮组件(2)直联在所述的电机主轴(5)上；
所述的动叶轮组件(2)由动叶片(3)串联组成，并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片；
所述的动叶片(3)与所述的静叶片(4)交错排列；
所述的静叶片(4)的叶齿的内、外端均为整体环形，其外环形内径小于或等于所述的动叶片(3)的外径；
所述的分子泵的末级叶片为静叶片(4)；
所述的静叶片(4)固定在所述的泵壳(6)和泵底盘(7)上。
2.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于：
所述的抽气级动叶片的数量≥1级；所述的压缩级动叶片的数量≥2级。
3.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于：
所述的抽气级动叶片为楔形变截面叶齿的动叶片；所述的压缩级动叶片为台阶式变截面叶齿的动叶片，所述的台阶式变截面叶齿的厚度由外向里逐级加厚。
4.根据权利要求2或3所述的分子泵，其特征在于：
所述的抽气级动叶片的数量为3级；所述的压缩级动叶片的数量为8级。
5.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于：
所述的台阶式变截面叶齿的台阶处为弧面或平面。
6.根据权利要求3所述的分子泵，其特征在于：
所述的台阶式变截面叶齿的台阶数量≥2。
7.根据权利要求6所述的分子泵，其特征在于：
所述的台阶数量等于3，由外向里其厚度分别为0.1cm、0.2cm、0.3cm。
8.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于：
所述的压缩级动叶片为矩形叶齿的动叶片。
9.根据权利要求8所述的分子泵，其特征在于：
所述的矩形叶齿的动叶片的数量为10级。
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