[发明专利]光刻胶剥离剂组合物

权利要求书

1.一种光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：

包含氨基甲酸酯化合物。

2.根据权利要求1所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：

包含100重量％的氨基甲酸酯化合物。

3.一种光刻胶剥离剂组合物，其特征在于，包含：

a)环状内酯类化合物，及

b)酰胺类化合物、氨基甲酸酯化合物或其混合物。

4.根据权利要求3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于，包含：

70-99.9重量份的环状内酯类化合物及0.1-30重量份的氨基甲酸酯类化合物。

5.根据权利要求3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于，包含：

70-99.9重量份的环状内酯类化合物及0.1-30重量份的酰胺类化合物。

6.根据权利要求3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于，包含：

70-99.8重量份的环状内酯类化合物、0.1-30重量份的酰胺类化合物及0.1-30重量份的氨基甲酸酯化合物。

7.根据权利要求1或3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：

所述氨基甲酸酯化合物是选自氨基甲酸甲酯、氨基甲酸乙酯、氨基甲酸丙酯、氨基甲酸丁酯、氨基甲酸叔丁酯、N-乙基氨基甲酸乙酯、N-甲基氨基甲酸乙酯、N-乙醇氨基甲酸乙酯中的至少一种化合物。

8.根据权利要求3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：

所述内酯类化合物选自由下述化学式1或化学式2表示的化合物，

[化学式1]

[化学式2]

上述化学式中，R及R₁分别表示氢、羟基、C1-C10的烷基、C1-C10的烷醇基或C1-C10的乙酸烷基酯基。

9.根据权利要求3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：

所述内酯类化合物是选自γ-丁内酯、γ-亚甲基-γ-丁内酯、α-甲基-γ-丁内酯、α-亚甲基-γ-丁内酯、2-乙酰丁内酯、γ-己内酯、γ-壬内酯、δ-辛内酯、γ-戊内酯、δ-戊内酯、δ-己内酯中的至少一种化合物。

10.根据权利要求3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：

所述酰胺类化合物是由下述化学式3表示的化合物，

[化学式3]

上述化学式中，R表示氢、C1-C10的烷基、烷醇基、烷氧基、胺或羟基；R′表示氢、C1-C10的烷基、烷醇基；R″表示氢、C1-C10的烷基或者烷醇基。

11.根据权利要求3所述的光刻胶剥离剂组合物，其特征在于：

所述酰胺类化合物是选自乙酰胺、甲酰胺、一甲基酰胺、二甲基酰胺、单甲基甲酰胺、二甲基甲酰胺及尿素中的至少一种化合物。

12.一种在照相平版印刷工艺中剥离及分解光刻胶的方法，其特征在于：

在照相平版印刷工艺中，包括利用如权利要求1或3所述的光刻胶剥离剂组合物剥离及分解光刻胶的步骤，而所述分解光刻胶的步骤包括向光刻胶剥离剂组合物中加入臭氧的步骤。

13.根据权利要求12所述的在照相平版印刷工艺中剥离及分解光刻胶的方法，其特征在于：

所述臭氧以50-100ppm的浓度溶解于所述光刻胶剥离剂组合物中。

14.一种显示器元件的制造方法，其特征在于：

包括光刻胶剥离步骤，该步骤利用如权利要求1或3所述的光刻胶剥离剂组合物，剥离在显示器元件的制造工程中经改性或硬化的光刻胶。

15.根据权利要求14所述的显示器元件的制造方法，其特征在于：

所述显示器元件为半导体元件或平面显示器元件。