[发明专利]带加热器的静电吸盘以及带加热器的静电吸盘的制造方法

权利要求书

1.一种带加热器的静电吸盘，具备由包含氧化铝的烧结体构成的基体、在该基体中的上部一侧设置的静电吸盘电极、在基体中的下部一侧埋入设置的电阻发热体，所述基体由从静电吸盘电极到基体上表面的电介质层、从静电吸盘电极到基体下表面的支撑部件构成，其特征在于，

所述支撑部件在与所述电介质层相接的静电吸盘电极附近区域和比该静电吸盘电极附近区域更下方的下方区域的碳含量不同，

所述电介质层中的碳含量在100wtppm以下，

所述支撑部件的所述静电吸盘电极附近区域的碳含量在0.13wt％以下，

所述支撑部件的所述下方区域的碳含量在0.03wt％以上，并且，所述静电吸盘电极附近区域的碳含量比所述下方区域的碳含量更小，

所述电阻发热体含有铌或铂。

2.根据权利要求1所述的带加热器的静电吸盘，其特征在于，

所述静电吸盘电极包含10wt％以上的氧化铝和碳化钨。

3.一种带加热器的静电吸盘的制造方法，具有烧结陶瓷原料而形成基体的电介质层的工序、形成静电吸盘电极的工序、烧结埋设有电阻发热体的陶瓷原料来形成支撑部件的工序，其特征在于，

形成所述支撑部件的工序包含通过在靠近静电吸盘电极一侧层叠成形焙烧过的陶瓷原料，并在远离静电吸盘电极一侧层叠成形未焙烧的陶瓷原料，从而调整支撑部件的烧结体的碳含量的工序。