[发明专利]用于制造柔性显示器的方法和设备

权利要求书

1.一种用于制造柔性显示装置的设备，所述设备包括：

支撑构件主体；

支架，设置在所述支撑构件主体的表面上，所述支架包括多个沟槽并安放柔性母基底；

真空通路，形成在所述支撑构件主体中，并且与所述沟槽以流体连通，每个真空通路具有与所述支撑构件主体的外部连通的端部；

喷嘴，设置在每个真空通路的与外部连通的端部中。

2.根据权利要求1所述的设备，还包括塞子，每个塞子可旋转地设置在对应喷嘴的入口处，并且操作所述塞子以响应所述塞子的旋转来选择性地打开和关闭所述喷嘴。

3.根据权利要求1所述的设备，还包括用于支持所述支撑构件主体的导向件。

4.根据权利要求3所述的设备，还包括连接件，所述连接件连接到外部真空源并且选择性地可附于所述喷嘴和与所述喷嘴可分离。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述连接件可滑动地设置在所述导向件上，用于滑动地附于所述喷嘴和与所述喷嘴分离。

6.根据权利要求3所述的设备，还包括多个固定销，用于固定所述支撑构件主体，防止所述支撑构件主体在所述导向件上运动。

7.根据权利要求1所述的设备，其中，每个沟槽具有V形横截面。

8.根据权利要求1所述的设备，其中，所述沟槽设置为格子形状。

9.根据权利要求1所述的设备，其中，所述支撑构件主体包含铝。

10.一种用于制造柔性显示装置的方法，所述方法包括以下步骤：

对柔性母基底的一侧施加静电力；

将所述柔性母基底安放在支撑构件上；

通过真空方式将所述柔性母基底附于所述支撑构件；

在所述柔性母基底上形成薄膜图案。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，将所述柔性母基底附于所述支撑构件的步骤包括：

将穿透所述支撑构件的真空通路连接到外部真空源；

利用所述真空源在所述真空通路中产生真空；

将所述真空源与所述支撑构件分开。

12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述柔性母基底包含塑料。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述柔性母基底包括：

有机层；

下涂层，形成在所述有机层的两侧上；

阻挡层，形成在所述下涂层上；

硬涂层，形成在所述阻挡层上。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述有机层包含从由下列物质组成的组中选择的至少一种，所述物质包括：聚乙烯醚邻苯二甲酸酯、聚萘二酸乙二醇酯、聚碳酸酯、多芳基化合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚酰亚胺或聚丙烯酸酯。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述下涂层和所述硬涂层包含丙烯酰基树脂。

16.根据权利要求14所述的方法，其中，所述阻挡层包含SiO₂或者Al₂O₃。

17.根据权利要求10所述的方法，其中，所述支撑构件包含铝。

18.根据权利要求10所述的方法，其中，所述薄膜图案包括非晶硅薄膜晶体管。

19.根据权利要求10所述的方法，其中，所述薄膜图案包括有机薄膜晶体管。