[发明专利]等离子体发生装置及使用这种装置的工件处理装置

权利要求书

1.一种等离子体发生装置，包括：

微波发生部，生成微波；

气体供给部，提供等离子体化的气体；

等离子体发生喷嘴，包括接收上述微波的内侧电极、以及同心配置在该内侧电极外侧的外侧电极，并根据上述微波的能量，将上述气体等离子体化后从前端喷出；

以及适配器，安装在上述等离子体发生喷嘴的前端，

其中，上述等离子体发生喷嘴使上述内侧电极与外侧电极之间产生辉光放电，生成等离子体，并通过向这两个电极之间供应上述气体，在常压下把等离子体化的气体从两个电极之间的环状排出口喷射出来，

上述适配器把上述环状排出口变换成长形的排出口。

2.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，上述适配器包括与上述环状排出口连通的长形等离子体室，在该等离子体室的一个侧面上有长形的开口。

3.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，上述适配器的长形排出口，随着向外延伸，其开口面积分阶段地或者连续地扩大。

4.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括散热翅片，配置在上述等离子体发生喷嘴与上述适配器的结合部分附近。

5.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括安装在上述适配器上、用于预热该适配器的加热器。

6.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括检测上述适配器温度的温度检测元件。

7.如权利要求6所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括控制部，根据上述温度检测元件的检测结果，控制向上述等离子体发生喷嘴供应的上述气体的量和/或上述微波的功率。

8.如权利要求1所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括检测上述适配器内的等离子体光的光检测元件。

9.如权利要求8所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述适配器包括与上述环状排出口连通的长形等离子体室，在该等离子体室的一个侧面上有长形的开口；

上述光检测元件检测上述等离子体室内的等离子体光。

10.如权利要求8所述的等离子体发生装置，其特征在于，还包括控制部，根据上述光检测元件的检测结果，控制向上述等离子体发生喷嘴供应的上述气体的量和/或上述微波的功率。

11.一种等离子体发生装置，包括：

微波发生部，生成微波；

气体供给部，提供等离子体化的气体；

多个等离子体发生喷嘴，包括接收上述微波的内侧电极、以及同心配置在该内侧电极外侧的外侧电极，并根据上述微波的能量，将上述气体等离子体化后从前端喷出；

波导管，其上排列安装有上述多个等离子体发生喷嘴，并传输上述微波发生部所产生的微波；

以及适配器，安装在上述等离子体发生喷嘴的前端，

其中，上述等离子体发生喷嘴使上述内侧电极与外侧电极之间产生辉光放电，生成等离子体，并通过向这两个电极之间供应上述气体，在常压下把等离子体化的气体从两个电极之间的环状排出口喷射出来，

上述适配器把上述环状排出口变换成长形的排出口。

12.如权利要求11所述的等离子体发生装置，其特征在于，上述适配器在上述多个等离子体发生喷嘴上单独设置。

13.如权利要求12所述的等离子体发生装置，其特征在于，上述适配器相对于上述等离子体发生喷嘴的排列方向，以规定的角度倾斜错开，分别安装在等离子体发生喷嘴上。

14.如权利要求11所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述多个等离子体发生喷嘴互相平行地排成多列，而且，从上述排列的面的方向，即，与其排列方向垂直的方向看，上述多列等离子体发生喷嘴在其排列方向上互相间隔地排列；

上述适配器安装在上述各等离子体发生喷嘴上，上述长形排出口的长度方向，与上述排列方向基本平行。

15.如权利要求12所述的等离子体发生装置，其特征在于，

上述等离子体发生喷嘴排列在一条直线上；

上述适配器的上述长形排出口的长度方向，基本与上述这一条直线平行，并且沿与上述这一条直线垂直的方向上相互错开配置排列。