[发明专利]研磨垫及其制造方法有效
| 申请号： | 200710148749.0 | 申请日： | 2002-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN101130232A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 下村哲生;中森雅彦;山田孝敏;增井敬志;驹井茂;小野浩一;小川一幸;数野淳;木村毅;濑柳博 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24D13/00;B24D18/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王海川;樊卫民 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有由树脂发泡体构成的研磨层的研磨垫，其中所述研磨层的热尺寸变化率不高于3％。
2.根据权利要求1的研磨垫，其中所述树脂发泡体的40℃的贮存弹性模量不低于270MPa。
3.根据权利要求1或2的研磨垫，其中所述树脂发泡体为聚氨酯树脂发泡体。
4.根据权利要求3的研磨垫，其中所述聚氨酯树脂发泡体的密度为0.67～0.90g/cm3。
5.根据权利要求3或4的研磨垫，其中所述聚氨酯树脂发泡体含有0.05～5重量％的硅酮系表面活性剂。
6.根据权利要求5的研磨垫，其中所述硅酮系表面活性剂为聚烷基硅氧烷/聚醚共聚物。
7.根据权利要求1～6的任一项的研磨垫，其中所述研磨层的硬度通过D型橡胶硬度计测定为不低于45～低于65。
8.根据权利要求1～7任一项的研磨垫，其中所述研磨层的压缩率为0.5～5％。
9.根据权利要求1～8任一项的研磨垫，其由至少两层构成，包括所述研磨层和在其上层压的比该研磨层软的缓冲层。
10.根据权利要求9的研磨垫，其中所述缓冲层选自用尿烷浸渍的聚酯非织布、聚氨酯发泡体和聚乙烯发泡体。
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