[发明专利]基板用的收纳容器

说明书

技术领域

本发明涉及一种将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张的基板收纳用的收纳容器。

背景技术

这样的基板收纳用的收纳容器在收纳在液晶显示器或等离子显示器中使用的玻璃基板等基板时使用。

在这样的基板收纳用的收纳容器中，以往，将形成为沿水平方向延伸的四方筒状的容器主体的一端侧的开口构成为一张张输入输出基板用的输入输出口，在容器主体的另一端侧的开口部，装备有从容器主体的另一端侧的开口朝向输入输出口通风的风扇过滤单元(例如参照特开2001-308169号)。

在上述基板收纳用的收纳容器中，利用风扇过滤单元，将净化空气从收纳容器的另一端侧的开口通入输入输出口而从输入输出口排出，由此防止收纳容器内存在的尘埃附着到基板上，并且即使因收纳容器搬运装置的动作等而使收纳容器的周围的气流被扰乱，也能防止外部气体进入到收纳容器内，而维持收纳容器内的基板的清净度。

但是，为了维持基板的清净度，收纳容器内的风速只要能防止收纳容器内存在的尘埃附着到基板上程度的比较慢的速度也可以，但为了防止外部气体从输入输出口倒流，需要使从收纳容器排出时的风速为比较快的速度，所以作为风扇过滤单元的通风量，由于从收纳容器排出时的风速比较快，所以需要较多，因此，风扇过滤单元的运转成本变高。

发明内容

本发明是鉴于上述实际情况而作出的，其目的在于提供一种可抑制风扇过滤单元的运转成本(running cost)的基板收纳用的收纳容器。

本发明的收纳容器将基板以在上下方向上隔开间隔地排列的状态保持多张，前述收纳容器具有：

容器主体，形成为整体具有四边形的截面的筒状，即具有一端侧的第1开口、和在水平方向上与前述第1开口隔开间隔的另一端侧设置的第2开口，前述第1开口构成为用于输入输出前述基板的输入输出口；

风扇过滤单元，装备在前述容器主体的前述第2开口的区域而从前述第2开口朝向前述第1开口通风；和

盖，安装在前述容器主体的前述输入输出口的区域，前述盖具有打开状态和关闭状态，在前述关闭状态下形成容许空气的通过的通气口。

因此，即使在盖为关闭的状态下，也可通过利用风扇过滤单元使净化空气从收纳容器的另一端侧的开口通入输入输出口而从输入输出口排出，可防止收纳容器内存在的尘埃附着到基板上，并且防止外部气体进入到收纳容器内，而维持收纳容器内的基板的清净度。

在盖为关闭的状态下，由于利用风扇过滤单元使净化空气从收纳容器的另一端侧的开口通入输入输出口而从输入输出口的一部分的开口排出，所以在输入输出口，通过盖使风路变窄，而使排出的净化空气的风量变快，即使使风扇过滤单元的通风量比较少，也可增加排出的净化空气的风速，而防止外部气体从收纳容器的输入输出口向收纳容器内进入。

因此，在盖为关闭的状态下，即使风扇过滤单元的通风量比较少，也可维持基板的清净度，所以可减少风扇过滤单元的通风量而抑制风扇过滤单元的运转成本。

附图说明

图1是第1实施方式的物品处理设备的立体图。

图2是第1实施方式的基板收纳设备的主视图。

图3是第1实施方式的基板收纳设备的侧视图。

图4是第1实施方式的表示净化空气通风机构的图。

图5是表示第1实施方式的物品收纳架的第一层的收纳部的图。

图6是表示第1实施方式的基板搬运区域的侧视图。

图7是表示第1实施方式的物品收纳架的第三层的收纳部的图。

图8是第1实施方式的堆装起重机的侧视图。

图9是第1实施方式的物品移载装置的俯视图。

图10是第1实施方式的容器主体的分解立体图。

图11是第1实施方式的收纳容器的分解立体图。

图12是第1实施方式的收纳容器的立体图。

图13是第1实施方式的收纳容器的纵剖主视图。

图14是表示第1实施方式的盖的拆装的侧视图。

图15是表示第1实施方式的风扇过滤单元的拆装的侧视图。

图16是表示第1实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。

图17是表示第1实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。

图18是表示第1实施方式的风扇过滤单元的控制部的侧视图。

图19是表示其他实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。

图20是表示其他实施方式的盖的关闭状态和打开状态的主视图。

图21是表示其他实施方式的盖的关闭状态和打开状态的侧视图。