[发明专利]胶质码盘/码尺的制作方法

权利要求书

1.一种胶质码盘/码尺的制作方法，其使用透光性90％以上的胶质板片为基材，首先是在胶质板片的表面上蒸镀上一层铬铝质薄膜；再在铬铝质薄膜上涂覆上光阻剂，而形成一层光阻膜；然后将经光绘机绘好的码盘/码尺的光栅图案的菲林母版，覆盖在胶质板片的光阻膜上；再进行以平行光的曝光照射光阻膜使之感光，照射完成后，取下菲林母版；然后，以洗除液洗去胶质板片上未感光部份的光阻膜；然后，再以刻蚀液对胶质板片及其上的铬铝质薄膜进行浸滞刻蚀；刻蚀完成后，再以洗除液洗去感光部份的光阻膜；至此，即令胶质板片上形成具有一个以上的码盘/码尺的光栅图案的刻制完成；然后，将胶质板片置于光学冲压机中，作自动对准位置而冲制出成圆盘状的码盘或长条状的码尺，以适用于编码器或光学尺。

2.如权利要求1所述的胶质码盘/码尺的制作方法，其特征是，所述胶质板片为以耐高温至120℃的聚酯材质制成。

3.如权利要求1所述的胶质码盘/码尺的制作方法，其特征是，所述胶质板片为以耐高温至120℃的聚碳酸酯材质制成。

4.如权利要求1所述的胶质码盘/码尺的制作方法，其特征是，所述胶质板片的厚度小于0.5mm。

5.如权利要求1所述的胶质码盘/码尺的制作方法，其特征是，所述胶质板片上的铬铝质薄膜的厚度为1um以下。

6.如权利要求1所述的胶质码盘/码尺的制作方法，其特征是，所述胶质板片上的光阻膜的厚度为1～3um。

7.如权利要求1所述的胶质码盘/码尺的制作方法，其特征是，所述洗除液为碱性溶液。

8.如权利要求1所述的胶质码盘/码尺的制作方法，其特征是，所述刻蚀液为硝酸溶液。