[发明专利]圆盘状基板的内周研磨方法和内周被研磨的圆盘状基板

权利要求书

1.一种圆盘状基板的内周研磨方法，其对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，

在上述圆盘状基板的该开孔中插入刷子，

将上述刷子的一端和另一端固定在设置于彼此远离的位置上的一对旋转轴上，

对该刷子的该一端和/或该另一端进行牵引，对该刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，

使上述刷子旋转进行研磨。

2.如权利要求1所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其特征在于：

插入上述开孔中的上述刷子的刷毛排列为螺旋状，该刷子的芯具有柔软性。

3.如权利要求1所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其进一步特征在于：

通过单一的电动机与上述一对旋转轴的机械式连接、或者通过控制分别安装在该一对旋转轴上的单独的电动机，使上述一对旋转轴同步旋转。

4.如权利要求1所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其进一步特征在于：

从上述圆盘状基板内取出上述刷子，

将与上述刷子相比毛的长度短且硬度高的第二刷子插入上述圆盘状基板的上述开孔中，

将上述第二刷子的一端和另一端固定在上述一对旋转轴上，牵引该第二刷子的该一端和/或该另一端，对该第二刷子的芯施加轴芯方向的牵引力，

使上述第二刷子或上述圆盘状基板的至少一方旋转，进行研磨。

5.如权利要求4所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其特征在于：上述刷子和上述第二刷子的轴心使由金属丝捻转制作而成。

6.如权利要求1所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其特征在于：在沿轴向方向装夹多块上述圆盘状基板的基板保持器上，装夹多块该圆盘状基板，

将刷子插入装夹在上述基板保持器上的上述圆盘状基板的上述开孔中，

将上述刷子的一端和另一端固定在设置于彼此沿水平方向远离的位置上的一对旋转轴上，

使装夹在上述基板保持器上的上述圆盘状基板的一部分浸入研磨液中，进行研磨。

7.如权利要求6所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其特征在于：

固定上述刷子的一对旋转轴设置在离开液槽的位置，该液槽用于使上述基板保持器的一部分浸入研磨液中。

8.一种圆盘状基板的内周研磨方法，其对在中心具有开孔的圆盘状基板的内周进行研磨，

基板保持器具有沿轴向方向装夹多块上述圆盘状基板的安装部、和设置于外周部的齿轮，在该基板保持器上装夹多块该圆盘状基板，

在装夹在上述基板保持器上的上述圆盘状基板的上述开孔中插入刷子，

使驱动侧齿轮与设置在上述基板保持器上的上述齿轮啮合，

使上述驱动侧齿轮旋转驱动。

9.如权利要求8所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其特征在于：上述基板保持器具有研磨液流入用的开口，通过上述驱动侧齿轮的旋转驱动，该基板夹具通过上述齿轮进行旋转，并通过该旋转将研磨液提供给上述研磨液流入用的开口，

使上述刷子旋转，

上述驱动侧齿轮的旋转驱动经由上述齿轮使上述基板保持器向上述刷子的旋转方向的相反方向旋转，并通过该驱动侧齿轮的旋转驱动使该基板保持器在旋转的同时，沿该刷子的轴芯方向进行往复运动。

10.如权利要求8所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其特征在于：

上述啮合，通过使设置在上述基板保持器的上述外周部上的抵接圆环部件、与安装在设置有上述驱动侧齿轮的旋转轴上的圆环部件抵接，从而确定上述齿轮与该驱动侧齿轮的啮合关系。

11.如权利要求8所述的圆盘状基板的内周研磨方法，其进一步特征在于：

通过将夹具插入上述圆盘状基板的中心的上述开孔中，将层叠的多块该圆盘状基板装夹在该夹具上，进而将导入间隔件装夹在层叠的该圆盘状基板之间，上述导入间隔件在中心具有开孔，还具有使该导入间隔件的该开孔与上述外周部连通的连通部，

上述多块圆盘状基板的装夹这样进行：将安装在上述夹具上的状态下的该圆盘状基板从上述安装部插入，沿轴向方向按压层叠的多块圆盘状基板，将它们装夹在上述基板保持器上，在卸下了该夹具的状态的上述开孔中插入上述刷子。