[发明专利]电子束加热蒸发方法与装置及其用途

权利要求书

1.一种电子束加热蒸发方法，其特征在于：所述方法结合电子束加热蒸发和电阻加热蒸发两种蒸发方式，由高压直流电源为灯丝热阴极提供负偏压，使之与接地坩埚间形成强电场；另由低压交流电源为灯丝热阴极提供一个大小可调的工作电流，加热后的灯丝热阴极用以发射电子束；所述电子束束流在强电场作用下，高速轰击坩埚，将坩埚加热，用以蒸发镀膜材料。

2.按照权利要求1所述的电子束加热蒸发方法，其特征在于：调整调制极电位略低于灯丝热阴极电位，调制电子束束流大小。

3.按照权利要求1所述的电子束加热蒸发方法，其特征在于：调节负偏压改变电场强度，改变电子束流能量调节坩埚温度。

4.按照权利要求2或3所述的电子束加热蒸发方法，其特征在于：所述电子束束流大小由坩埚1与地之间串联的电子束流监测仪监测。

5.一种权利要求1所述的电子束加热蒸发装置，包括：灯丝热阴极、调制极、坩埚、冷却水套和电子光学系统电路，其特征在于：所述坩埚由导电支架支撑，其下方设有上开口的调制极；所述调制极外设有冷却水套，并在其内部设置灯丝热阴极。

6.按照权利要求5所述的电子束加热蒸发装置，其特征在于：所述电子光学系统电路包括高压直流电源B1、低压交流电源B2和电子束束流监测仪表A；其中：所述高压直流电源B1为灯丝热阴极提供稳定的负偏压，坩埚接地，二者间形成强电场，电子束在强电场作用下，高速轰击坩埚；所述低压交流电源B2为灯丝热阴极提供一个可调的工作电流，通过电位器调节电流使灯丝热阴极加热发射电子束流。

7.按照权利要求5所述的电子束加热蒸发装置，其特征在于：所述坩埚与地之间串联一毫安表，作为电子束束流监测仪M1。

8.按照权利要求5所述的电子束加热蒸发装置，其特征在于：所述坩埚导电支架由水平托架和纵向支架组成，水平托架和纵向支架的连接处使用真空陶瓷块隔热，用连接螺栓导通电流。

9.按照权利要求5所述的电子束加热蒸发装置，其特征在于：所述灯丝是用钨材料制成盘香形，并且经过加热定型。

10.权利要求1所述的电子束加热蒸发方法的用途，其特征在于用于制备电致变色器件的氧化钨薄膜和氟化锂薄膜，及制备聚酰亚胺衬底柔性薄膜太阳电池金属镍薄膜材料。