[发明专利]图案形成装置和图案形成方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2006年9月29日提交的日本专利申请No.2006-268135的优先权，在此将该日本专利申请的公开内容全部引入作为参考。

技术领域

本发明涉及图案形成装置和图案形成方法，该图案形成装置包括图案形成基板，在该图案形成基板的表面上形成预定图案，在该图案形成方法中，将导电液体的预定图案形成在印刷介质上。

背景技术

现有的喷墨印刷机包括喷射墨的喷墨头，在喷墨头内部，形成有包括喷出墨的喷嘴的多个墨通道和与喷嘴连通的压力腔室，且压电促动器布置在分别与压力腔室面对的位置。在这种喷墨印刷机中，每个促动器都连接到驱动器IC。而且，当每个促动器基于从驱动器IC输出的驱动信号而被驱动时，相应压力腔室的容量改变，且喷射能量被赋予该压力腔室中的墨。相应地，墨从与该压力腔室连通的喷嘴中喷出。

近些年，由于印刷速度和印刷质量的提高，上面提及的喷墨印刷机中的促动器的集成度逐年增高。由此，需要使配线间距小，该配线连接促动器上的电极和驱动器IC的终端。因此，已经开始探寻在低成本下形成小(精细)间距配线图案。

在日本专利特开No.11-163499的图5中，公开了一种通过从喷墨印刷机喷射一种是用于形成配线的材料的导电墨而在基板上形成配线图案的方法(喷墨方法)，作为用于以低成本形成配线图案的技术。

发明内容

这里，例如，一个喷墨印刷机，其中1200个促动器布置在1英寸的宽度内，为了通过1英寸宽的柔性印刷电路(FPC)连接促动器上的电极并连接驱动器IC的终端，需要以20μm或更小的精细间距配线来进行配线。但是，在通过使用上面提及的喷墨方法制造FPC的情况下，可能能够实现的配线间距被限制在约40μm。而且，已经寻求即使在不同于喷墨头的电子设备的情况下，在配线基板和电路基板上形成精细间距配线。

从这点看，本发明的目的是提供一种能够以低成本形成精细图案的图案形成装置，和一种图案形成方法。

根据本发明第一方面，提供一种图案形成装置，该图案形成装置在印刷介质上形成导电液体的预定图案，该装置包括：

图案形成基板，该图案形成基板包括绝缘基板和布置在该绝缘基板上的多个电极；

电位施加机构，该电位施加机构选择性地对所述多个电极中的每个电极施加第一电位和第二电位，第一电位使图案形成基板的表面的分别和所述多个电极重叠的重叠区域具有第一抗液性，并且第二电位使所述重叠区域具有比第一抗液性低的第二抗液性；

电位控制器，该电位控制器控制电位施加机构对所述多个电极中与所述图案对应的某些电极施加第二电位，并且对所述多个电极中不与所述图案重叠的其它电极施加第一电位；和

转印机构，该转印机构通过使导电液体与印刷介质接触将在图案形成基板的所述表面上被布置形成所述预定图案的导电液体转印到印刷介质。

根据本发明第一方面，由于图案形成装置具有布置在不导电(绝缘)基板上的电极，并且导电液体布置(放置)在图案形成基板的表面上的导电液体允许在表面上成为需要的图案，因此可以有选择地对这些电极施加第一电位和第二电位。在此时，由于电润湿现象，可以在第一抗液性和第二抗液性之间改变图案形成基板的与电极重叠的重叠区域的抗液性。在这种方式中，由于可以根据施加到电极的电位调整重叠区域的抗液性，因此可以调整通过在图案形成基板上的润湿而散开的导电液体的图案。例如，通过精细地(很紧密地)布置电极，能够在图案形成基板的表面上形成导电液体的精细图案，并且通过将图案转印到印刷介质上，可以在印刷介质上形成精细图案。

这里，所述“第一电位”和所述“第二电位”可以是在固定范围内的值，不是唯一确定的值。但是，在这种情况下，第一电位和第二电位的可能取值范围不重叠。而且，“导电液体”不是限于具有较高导电性的液体的液体，诸如其中分散了铜等的纳导电粒子的液体，但是可以是包含产生电润湿现象的“导电液体”的液体，比如水溶液。此外，“图案形成基板的表面”指的是图案形成基板的一侧上相对于基板设有电极的表面。

在本发明的图案形成装置中，所述多个电极可以在基板上相互隔，可以规则的方式布置，并且电极可以具有相同的形状。

在这种情况下，由于电极相互隔离在基板上，且规则地布置，并且具有相同形状，因此可以在图案形成基板的表面上容易地形成具有预定形状的导电液体图案。

在本发明的图案形成装置中，在转印机构使布置形成图案的导电液体与印刷基板接触后，电位控制器可对相应于该图案的一些电极施加第一电位。