[发明专利]热交换板

说明书

技术领域

本发明涉及一种热交换板，所述热交换板的内部具有冷却介质或者加热介质通过的流路。

背景技术

作为这种热交换板，例如具有用于在液晶制造装置的溅射工序中保持靶材的衬板。(例如日本专利第3818084号公报)

然而，在上述日本专利第3818084号公报公开的发明中，由于在主体的上表面(表面)上加工出的流路(水路)的截面形状具有复杂的形状(T字形状)，因而存在加工流路需要大量操作时间并且制造成本增加的问题。

而且，在上述日本专利第3818084号公报公开的发明中，也提出了使在主体上表面上加工的流路截面形状为最简单的形状(矩形)的方案，但是由于接合部形成在流路附近，因而存在接合部的根部焊道进入流路的可能。

发明内容

本发明鉴于上述问题而提出，其目的在于提供一种热交换板，可以缩短加工所需要的操作时间，降低制造成本，并可以防止接合部的根部焊道进入流路，而且可以防止因接合导致盖变形。

本发明为了解决上述问题，采用如下的手段。

本发明的热交换板，具有：平板状的主体，在其表面形成截面呈矩形的至少一条第一槽；和盖，其具有与上述第一槽大致相同的俯视形状，在嵌入上述第一槽内时，其背面与上述第一槽的底面相接，其两侧面与上述第一槽的两侧面相接，并且其表面与上述主体的表面大致齐平地形成，在上述背面的中央部，设有沿着上述两侧面形成的第二槽，且上述盖通过摩擦搅拌接合来接合于上述主体上。

根据本发明的热交换板，由于在主体的上表面(表面)加工出的第一槽的截面形状为最简单的形状(矩形)，因而可以缩短加工第一槽所需要的操作时间，可以降低制造成本。

而且，由于形成流路的第二槽形成在盖的下表面(背面)的中央部，因而在主体和盖接合时施加在盖上的负荷，可以通过高度与第一槽的深度大致相等的盖的周缘部传递至第一槽的底面、也就是主体，因而可以防止接合部的根部焊道进入流路，并可以防止因接合导致盖变形。

进而，由于盖的周缘部形成为高度与第一槽的深度大致相等，因而可以提高盖整体的刚性，使第二槽的宽度变大，扩大流路的宽度，扩大流路的截面积。

本发明的热交换板，具有：平板状的主体，在其表面形成截面呈矩形的至少一条第一槽；和平板状的盖，其覆盖上述主体的整个表面，并在其背面形成有凸部，上述凸部形成为，在叠合于上述主体的表面时，其顶面与上述第一槽的底面相接，其两侧面与上述第一槽的两侧面相接，在上述顶面的中央部设有沿着上述两侧面形成的第二槽，且上述盖通过摩擦搅拌接合来接合于上述主体上。

根据本发明的热交换板，由于在主体的上表面(表面)加工出的第一槽的截面形状为最简单的形状(矩形)，因而可以缩短加工第一槽所需要的操作时间，可以降低制造成本。

而且，由于形成流路的第二槽形成在凸部的顶面中央部上，因而在主体和盖接合时施加在盖上的负荷，可以通过高度与第一槽的深度大致相等的凸部的周缘部传递至第一槽的底面、也就是主体，因而可以防止接合部的根部焊道进入流路，并可以防止因接合导致盖变形。

进而，由于凸部的周缘部形成为高度与第一槽的深度大致相等，因而可以提高盖整体的刚性，使第二槽的宽度变大，扩大流路的宽度，扩大流路的截面积。

根据本发明，可以缩短加工所需要的操作时间，可以降低制造成本，防止接合部的根部焊道进入流路，并可以防止因接合导致盖变形。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的热交换板的概略俯视图。

图2是图1的局部剖视图。

图3是本发明的第二实施方式的热交换板的局部剖视图，是与图2相同的图。

具体实施方式

以下参照附图说明本发明的实施方式。

(第一实施方式)

以下，参照图1和图2对本发明的热交换板的第一实施方式进行说明。图1是本实施方式的热交换板的概略俯视图，图2是图1的局部剖视图。

如图1所示，本实施方式的热交换板(以下称为衬板。)具有主体2和盖3。

主体2例如是由无氧铜、或者包含5％以下的Zr或Cr的铜合金制成、长2350mm、宽2010mm、厚15mm左右的俯视呈矩形的板状部件。而且，在该主体2的上表面(表面)2a上，设有例如俯视呈U字形、截面呈矩形的(第一)槽4、或者俯视呈波形、截面呈矩形的槽4。