[发明专利]反波导大光学腔半导体激光器无效
申请号: | 200710153823.8 | 申请日: | 2007-09-12 |
公开(公告)号: | CN101159366A | 公开(公告)日: | 2008-04-09 |
发明(设计)人: | 薄报学;高欣;王玉霞;李辉;卢鹏;乔忠良;曲轶 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | H01S5/20 | 分类号: | H01S5/20;H01S5/34 |
代理公司: | 中国兵器工业集团公司专利中心 | 代理人: | 曲博 |
地址: | 130022吉林*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 波导 光学 半导体激光器 | ||
1.一种反波导大光学腔半导体激光器,其外延结构包括衬底(1)、限制层(2)、波导层(3)、量子阱有源层(4)及欧姆接触层(5),波导层(3)分上、下两层,其特征在于,波导层(3)材料组分反向线性渐变,波导层(3)结构为反向线性渐变折射率结构,靠近量子阱有源层(4)处的折射率较小,随着向限制层(2)的靠近,折射率逐渐增大。
2.根据权利要求1所述的半导体激光器,其特征在于,限制层(2)分上、下两层,材料组分均匀,厚度为0.7~1.5微米。
3.根据权利要求1所述的半导体激光器,其特征在于,波导层(3)厚度为0.1~0.6微米。
4.根据权利要求1所述的半导体激光器,其特征在于,量子阱有源层(4)材料组分均匀,量子阱数量为1~4个,单个量子阱的厚度为7~20纳米。
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