[发明专利]药液处理装置

权利要求书

1.一种药液处理装置，其用于基板的制造工序中，利用药液对基板材料进行表面处理，该药液处理装置具有：液槽，该液槽盛满该药液；输送机，该输送机配设在该液槽内并搬送该基板材料；喷嘴，该喷嘴配设在该液槽内并对该基板材料喷射该药液，

其特征在于，该输送机具备以不接触电路形成面的方式运送该基板材料的夹持滚筒群，该夹持滚筒由夹持、运送该基板材料的两侧端面的驱动滚筒构成。

2.根据权利要求1所述的药液处理装置，其中，夹持、运送该基板材料且成对的其中一边的该夹持滚筒，由软质材料构成；另一边的该夹持滚筒由硬质材料构成，并在外周面形成槽，

其特征在于，在这样的两个该夹持滚筒之间，压接、挟持该基板材料，并且不会发生滑动、弯曲地运送。

3.根据权利要求1所述的药液处理装置，该药液处理装置用于基板的制造工序的显影工序、蚀刻工序、或者剥离工序中，该药液由显影液、蚀刻液、或剥离液组成，其特征在于，该基板材料由挠性基板材料、其它的超薄材料构成。

4.根据权利要求1所述的药液处理装置，该输送机水平搬送该基板材料，其特征在于，该夹持滚筒上下成对且配置于左右，分别从上下夹持、运送该基板材料的左右两侧端面。