[发明专利]闪烁器面板和放射线图象传感器

权利要求书

1.一种闪烁器面板，其特征在于，

它备有：

透过放射线的基片，

设置在所述基片上的反射性金属薄膜，

覆盖所述反射性金属薄膜全体的保护膜，和

通过蒸涂堆积在所述保护膜上的闪烁器，

所述反射性金属薄膜在透过放射线的同时，反射在所述闪烁器上发出的光，

所述保护膜具有从所述闪烁器保护所述反射性金属薄膜的功能。

2.一种闪烁器面板，其特征在于，

它备有：

透过放射线的基片，

设置在所述基片上的反射性金属薄膜，

设置在所述反射性金属薄膜上的保护膜，和

通过蒸涂使所述保护膜的边缘部分露出那样地堆积在所述保护膜上的闪烁器，

所述反射性金属薄膜在透过放射线的同时，反射在所述闪烁器上发出的光，

所述保护膜具有从所述闪烁器保护所述反射性金属薄膜的功能。

3.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述反射性金属薄膜直接配置在所述基片上。

4.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述反射性金属薄膜是由包含Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt和Au构成的一组物质中的物质的材料形成的膜。

5.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是无机膜。

6.如权利要求5所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是由包含LiF、MgF₂、SiO₂、TiO₂、Al₂O₃、MgO、SiN和聚酰亚胺构成的一组物质中的物质的材料形成的膜。

7.如权利要求5所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是金属氧化膜。

8.如权利要求7所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是所述反射性金属薄膜的氧化膜。

9.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是有机膜。

10.如权利要求9所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是由聚酰亚胺形成的。

11.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是由无机膜和有机膜形成的。

12.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述闪烁器被有机膜覆盖。

13.如权利要求12所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述有机膜进一步覆盖所述基片的表面的至少一部分。

14.如权利要求13所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述有机膜进一步覆盖所述基片的整个表面。

15.一种放射线图象传感器，其特征在于，

与权利要求1～14的任何一项中所述的闪烁器面板的所述闪烁器相对置地配置摄像元件。