[发明专利]闪烁器面板和放射线图象传感器

权利要求书

1.一种闪烁器面板，其特征在于，

是在基片上支撑有闪烁器的闪烁器面板，其中，

所述基片是透过放射线的基片，

在所述基片与所述闪烁器之间具备：

反射性金属薄膜，其透过放射线，并且将由所述闪烁器发出的光中的从所述闪烁器向所述基片返回的光进行反射，和

保护膜，其形成为使所述反射性金属薄膜不与所述闪烁器直接接触，

所述闪烁器通过蒸涂而堆积在所述保护膜上，

从所述基片的与形成有所述闪烁器的一侧相反的一侧入射的放射线，透过所述基片、所述反射性金属薄膜和所述保护膜而入射至所述闪烁器，并且，相应于该放射线的入射而由所述闪烁器发出的光从所述闪烁器的与所述基板相反的一侧发出。

2.一种闪烁器面板，其特征在于，

是在基片上支撑有闪烁器的闪烁器面板，其中，

所述基片是透过放射线的基片，

在所述基片与所述闪烁器之间具备：

反射性金属薄膜，其透过放射线，并且将由所述闪烁器发出的光中的从所述闪烁器向所述基片返回的光进行反射，和

保护膜，其形成为使所述反射性金属薄膜不与所述闪烁器直接接触，

所述闪烁器以使得所述保护膜的边缘部露出的方式，通过蒸涂而堆积在所述保护膜上，

从所述基片的与形成有所述闪烁器的一侧相反的一侧入射的放射线，透过所述基片、所述反射性金属薄膜和所述保护膜而入射至所述闪烁器，并且，相应于该放射线的入射而由所述闪烁器发出的光从所述闪烁器的与所述基板相反的一侧发出。

3.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述反射性金属薄膜是由包含Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt和Au构成的一组物质中的物质的材料形成的膜。

4.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是由包含LiF、MgF₂、SiO₂、TiO₂、Al₂O₃、MgO、SiN和聚酰亚胺构成的一组物质中的物质的材料形成的膜。

5.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜由包含Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Ti、Mg、Rh、Pt构成的一组物质中的物质的材料形成的氧化膜。

6.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述保护膜是由无机膜和有机膜形成的。

7.如权利要求1或2所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述闪烁器被有机膜覆盖。

8.如权利要求7所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述有机膜进一步覆盖所述基片的表面的至少一部分。

9.如权利要求7所述的闪烁器面板，其特征在于，

所述有机膜进一步覆盖所述基片的整个表面。

10.一种放射线图象传感器，其特征在于，

具备权利要求7～9的任何一项中所述的闪烁器面板，还具备摄像元件，

所述摄像元件与所述闪烁器面板的与所述基片相反的一侧的有机膜相贴合，

从所述基片的与形成有所述闪烁器的一侧相反的一侧入射的放射线，透过所述基片、所述反射性金属薄膜和所述保护膜而入射至所述闪烁器，并且，相应于该放射线的入射而由所述闪烁器发出的光透过所述有机膜而向所述摄像元件发出。