[发明专利]干涉仪角度灵敏度校准方法

说明书

技术领域

本发明涉及对测定被检面的倾斜角度的干涉仪的角度灵敏度进行校准的方法。

背景技术

目前，作为为了能够测定被检面的倾斜角度而构成的干涉仪，公知的是用于光纤连接器部的倾斜研磨型套圈的前端面测定用的干涉仪(参照下述专利文献1)。

倾斜研磨型套圈的前端面的倾斜角度(相对于与套圈的轴线垂直的面的角度)已由JIS标准化为8度。另一方面，在套圈测定用的干涉仪中，可测定的倾斜角度范围有时被限制在5度左右，在这样的套圈测定用的干涉仪中，使用进行保持的专用的保持器具，以使套圈的前端面相对于测定光轴的垂直面的倾斜角度为4度左右，从而进行测定(参照下述专利文献2)。

但是，在这种倾斜角度测定用的干涉仪中，表示所观察的条纹条数与倾斜角度之间的对应关系的角度灵敏度已被预先设定，由于因干涉仪的设置误差及常年使用产生的误差等，有时需要校准暂且设定的角度灵敏度。

目前，作为进行这样校准的方法，公知的是，将由成为校准对象的干涉仪测量的被检面的倾斜、和由自动准直仪等基准角度仪测定相同被检面而得的倾斜进行比较来校准的方法，但是，由于需要高精度地进行成为校准对象的干涉仪及基准角度仪的各校准，并且需要改变被检面的倾斜进行多次测定，所以存在校准所需要的程序繁杂、需要很多时间的问题。

另一方面，本发明申请人提出了使用具有相互所呈的角度已知的两个反射面的校准用夹具的校准方法，并已经对专利局公开(参照下述专利文献3)。该校准方法，由于能够基于由成为校准对象的干涉仪拍摄的一个条纹图像进行校准，因此可容易地进行角度灵敏度的校准。

专利文献1：日本特开2004-37167号公报

专利文献2：日本特开2004-286595号公报

专利文献3：日本特愿2005-102934号说明书

但是，所述专利文献3所记载的校准方法存在难以适用于套圈测定用的干涉仪这一问题。即在该校准方法中，前提是使用具有两个反射面的校准用夹具，而由于在套圈测定用的干涉仪的场合，需要使校准用的夹具相当小地形成，所以难以高精度地制作两个反射面(尤其是相互的边界部分)。

另外，该校准方法在干涉仪的角度灵敏度相对于测定角度的大小具有线性(相对于被检面的倾斜角度的变化的、观察到的干涉条纹的条数变化的比例为一定)时是有效的，但是，在角度灵敏度具有非线性时，恐怕不能进行高精度的校准。

由于套圈测定用干涉仪所测定的倾斜角度限定在夹着基准角度(例如4度)的规定的狭小范围(例如，±0.1度左右的角度范围)，所以对于在该角度范围内的角度灵敏度，如果能容易且高精度地校准，是极其有益的。

发明内容

本发明是鉴于这样的事情而开发的，其目的在于提供一种干涉仪角度灵敏度校准方法，其可容易且高精度地校准所测定的倾斜角度限定在规定的角度范围内的倾斜角度测定用的干涉仪的角度灵敏度。

本发明提供一种干涉仪的角度灵敏度校准方法，所述干涉仪拍摄承载有被检面的倾斜信息的干涉条纹图像，并基于该干涉条纹图像测定所述被检面的倾斜角度，所述干涉仪的角度灵敏度校准方法对所述干涉仪的角度灵敏度进行校准，其特征在于，依次进行以下步骤：

角度灵敏度算式设定步骤，其在与所述被检面的倾斜角度对应的规定的被测定角度范围内，视为在所述被检面的每单位长度的干涉条纹的条数p和所述倾斜角度θ之间，使用了规定的比例系数k的比例关系成立，设定下式(1)所示的角度灵敏度算式；

测定步骤，其用所述干涉仪测定以呈所述被测定角度范围内的基准倾斜角度α的方式设定的基准倾斜面，求出该基准倾斜面的每单位长度的条纹条数p₁，并且基于该条纹条数p₁和下式(1)计算所述基准倾斜角度α的测定临时值(仮値)α₁，从而得到下式(2)的关系；

校准步骤，其基于所述条纹条数p₁和所述基准倾斜角度α且通过下式(3)求出已校准的比例系数k₁，将该已校准的比例系数k₁和下式(1)的比例系数k置换，从而得到下式(4)所示的已校准的角度灵敏度算式。

p＝k·θ      ……(1)

p₁＝k·α₁    ……(2)

k₁＝p₁/α     ……(3)

p＝k₁·θ     ……(4)