[发明专利]一种氮化硅彩虹玻璃及其制备方法无效
| 申请号： | 200710156483.4 | 申请日： | 2007-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN101182129A | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 席珍强;徐敏;杜平凡;姚剑 | 申请（专利权）人： | 浙江理工大学 |
| 主分类号： | C03C17/22 | 分类号： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310018浙江省杭州市江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 彩虹 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮化硅彩虹玻璃，其特征在于：在普通平板玻璃基底(1)一个表面或二个表面上镀有一层氮化硅薄膜(2)。
2.根据权利要求1所述的一种氮化硅彩虹玻璃，其特征在于：所述的镀氮化硅膜呈相间的彩虹条纹。
3.一种氮化硅彩虹玻璃的制备方法，其特征在于该方法的步骤如下：
把普通平板玻璃放入到70℃铬酸钾、浓硫酸和水，质量比为6∶8∶27的混合溶液中，浸泡10～60min，再用去离子冲洗，然后用0.5％HF酸浸渍10s，最后再用去离子水冲洗干净，烘干；其中一片玻璃垂直放入PECVD工作室平台(3)上，另外一片玻璃平放在旁边，在沉积过程中，PECVD的各种参数设置为：温度100～500℃，射频功率20～150W，SiH4/NH3流量比：1∶1～1∶30，沉积时间25～60min，沉积完毕后，垂直放置玻璃基底双面都形成了相间的彩虹条纹图案，水平放置的玻璃基底为单面的相间的彩虹条纹图案。
4.根据权利要求3所述的一种氮化硅彩虹玻璃的镀膜方法，其特征在于：在沉积薄膜时，根据玻璃基片放置角度为0～90°，能沉积出不同宽度的彩色相间条纹，拓宽了氮化硅彩虹玻璃的应用范围。
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