[发明专利]修整可控型超精密抛光机

权利要求书

1.一种修整可控型超精密抛光机，包括机座、抛光盘、抛光盘驱动电机、测速机构和智能控制平台，所述的抛光盘通过主轴安装在机座上，所述抛光盘驱动电机的输出轴与主轴传动连接，所述主轴与测速机构传动连接，所述的机座上安装支架板，所述的支架板安装基盘保持架，所述的基盘保持架设有弧形段，所述弧形段的弧度不小于π/2，所述的弧形段上安装有摩擦轮，摩擦轮个数至少为2个，基盘嵌入所述弧形段并靠接在摩擦轮上，且所述基盘与所述弧形段之间有间隙，所述的基盘位于抛光盘的上方；其特征在于：

所述的超精密抛光机还包括修整环、直线导轨、往复运动驱动机构、径向移动驱动电机以及旋转驱动电机，所述的两根直线导轨水平安装在支架板的下方，所述的径向移动驱动电机安装在支架板上，所述的径向移动驱动电机与往复运动驱动机构传动连接，所述往复运动驱动机构可水平滑动地套装在直线导轨上，所述的修整环安装在往复运动驱动机构的下方，所述旋转驱动电机与往复运动驱动机构固定连接，所述旋转驱动电机的输出轴与修整环传动连接，所述的修整环位于抛光盘的基盘覆盖以外区域的上方；

所述的智能控制平台连接抛光盘驱动电机、测速机构、径向移动驱动电机和旋转驱动电机。

2.如权利要求1所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述的往复运动驱动机构下方安装套管，所述套管下端安装修整环，所述的抛光垫修整机构还包括修整加载装置，所述修整加载装置垂直安装在往复运动驱动机构上，所述的修整加载装置连接压力调节螺杆，所述的压力调节螺杆与修整环球头连接，所述的压力调节螺杆安装在套管内，所述的智能控制平台连接修整加载装置。

3.如权利要求2所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述基盘保持架安装在直线导轨的下方，基盘加载装置安装在基盘保持架上，所述的基盘加载转置连接压力调节螺杆，所述的压力调节螺杆与基盘球头连接，所述的智能控制平台连接基盘加载装置。

4.如权利要求1-3之一所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述的往复运动驱动机构包括径向移动距离调节板和行程调节板，

所述的径向移动驱动电机的输出轴与径向移动距离调节板固定连接，所述的径向移动距离调节板的一端通过滚轮与行程调节板上沟槽配合，所述行程调节板可水平滑动地套装在直线导轨上，所述的修整环安装在行程调节板的下方，所述旋转驱动电机与行程调节板固定连接。

5.如权利要求4所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述的沟槽有至少两个以上，所述至少两个以上的沟槽呈相互平行布置；所述的径向移动距离调节板上设有矩形槽，所述的径向移动驱动电机的输出轴通过螺钉固定安装在所述矩形槽上。

6.如权利要求3所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述的修整加载装置和基盘加载装置为气动加载装置或液压加载装置。

7.如权利要求4所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述的测速机构为光栅测控系统。

8.如权利要求1-3之一所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述的抛光盘驱动电机的输出轴上设有主动齿轮、所述主动齿轮通过同步带连接被动齿轮，所述被动齿轮安装在主轴上；所述的主轴底端连接附加齿轮，所述附加齿轮通过传动带连接测速机构的输入轴。

9.如权利要求8所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述的超精密抛光机包括至少一个修整环和一个基盘，所述的各个修整环、基盘分别位于抛光盘的不同区域。

10.如权利要求4所述的修整可控型超精密抛光机，其特征在于：所述旋转驱动电机的输出轴上设有主动齿轮、所述主动齿轮通过同步带连接被动齿轮，所述被动齿轮安装在所述的往复运动驱动机构上的轴上，所述的被动齿轮套接有拔杆，所述的拔杆同时也套接修整环上面，所述的拔杆在2π弧度范围内有至少三个以上。