[发明专利]方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构

权利要求书

1.一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，其特征在于：该自动扣盖机构设有内盖(6)和外盖(7)两层盖结构，外盖(7)中心开孔，其上表面设有定位销子I(9)；内盖(6)中心通过连接件穿过外盖(7)中心孔连有定位板(11)，定位板(11)通过其上开设的销孔与外盖(7)上的定位销子I(9)相对应，外盖(7)与气缸(12)相连；方形基片涂胶单元的承片台(3)上安装旋转盖板(4)，旋转盖板(4)表面设有定位销子II(10)，内盖(6)通过其上开设的销孔与旋转盖板(4)上的销子II(10)相对应。

2.按照权利要求1所述的自动扣盖机构，其特征在于：在连接承片台(3)的主轴(2)上装有定位盘(8)。

3.按照权利要求2所述的自动扣盖机构，其特征在于：定位盘(8)上开有缺口(13)，定位气缸(15)设置于定位盘(8)侧面，定位气缸(15)通过其一端安装的轴承(14)与缺口(13)对应。