[发明专利]清洗方法及清洗装置

权利要求书

1.一种清洗物体的方法，在处理室中，通过供应带有添加剂的超临界流体以及单独使用超临界流体冲洗物体来清洗物体，包括如下步骤：

在冲洗处理时，打开从添加剂管分支出的支管的背压阀；以及

通过单独使超临界流体流入所述添加剂管和支管，从所述添加剂管中清除残留的添加剂。

2.根据权利要求1所述的清洗物体的方法，进一步包括如下步骤：

为结合到用于供应超临界流体的主干管上的所述添加剂管设置用来提供添加剂的第一开/关阀和第二开/关阀，所述第一开/关阀处于主干管侧，

从第一开/关阀和第二开/关阀之间的中间部分分出具有背压阀的支管，以及

在冲洗处理时打开第一开/关阀和背压阀并关闭第二开/关阀，以清除残留的添加剂。

3.一种清洗物体的方法，在处理室中，通过供应带有添加剂的超临界流体以及单独使用超临界流体冲洗物体来清洗物体，包括如下步骤：

在冲洗处理时，打开从添加剂管分支出的支管的背压阀；以及

使用在处理室内的高压和由于打开背压阀而引起的低压之间的压力差，通过支管从添加剂管中清除残留的添加剂。

4.根据权利要求3所述的清洗物体的方法，进一步包括如下步骤：

为结合到用于供应超临界流体的主干管上的所述添加剂管设置用来提供添加剂的第一开/关阀和第二开/关阀，所述第一开/关阀处于主干管侧，

从第一开/关阀和第二开/关阀之间的中间部分分出具有背压阀的支管，以及

在冲洗处理完成时打开第一开/关阀和背压阀并关闭处理室的排出管的背压阀和第二开/关阀，以清除残留的添加剂。

5.一种用来清洗物体的装置，在处理室中，通过供应带有添加剂的超临界流体以及单独使用超临界流体冲洗物体来清洗物体，所述装置包括：

主干管，用来通过开/关阀向处理室供应超临界流体；

排出管，用来通过第一背压阀从处理室中排出超临界流体；

添加剂管，用来通过用于供应添加剂的第一开/关阀和第二开/关阀向主干管提供添加剂；和

支管，其从第一开/关阀和第二开/关阀之间的中间部分分出，该支管包括第二背压阀。

6.根据权利要求5所述的清洗装置，其中

在冲洗处理时第二背压阀是打开的，以及

单独使超临界流体流入添加剂管和支管，以从添加剂管中清除残留的添加剂。

7.根据权利要求5所述的清洗装置，其中

在完成冲洗处理时第二背压阀是打开的，以及

使用在处理室内的高压和由于打开第二背压阀引起的低压之间的压力差，通过支管从添加剂管中清除残留的添加剂。