[发明专利]曝光数据产生装置有效
申请号: | 200710159754.1 | 申请日: | 2007-12-21 |
公开(公告)号: | CN101206408A | 公开(公告)日: | 2008-06-25 |
发明(设计)人: | 奥山隆志 | 申请(专利权)人: | 株式会社ORC制作所 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 数据 产生 装置 | ||
1.一种曝光数据产生装置,该曝光数据产生装置包括:
第一存储器,其按位图格式存储绘图数据,作为用于曝光的第一数据;
第二存储器,其存储第二数据,根据所述第一数据,所述第二数据在列方向的数据单位被转换为各个单元的信息的分辨率单位;以及
曝光数据存储器,其存储曝光数据,所述曝光数据是通过在每个列单位的对第三数据的脉冲传输而获得的光栅数据,
将所述第二数据重新排列并转换为所述第三数据,其中,将所述第二数据在所述列方向的各个单元的数据排列改变为行方向,并且
所述单元构成根据所述曝光数据进行所述曝光的数字微镜装置的显示元素。
2.根据权利要求1所述的曝光数据产生装置,该曝光数据产生装置进一步包括单元坐标表,所述单元坐标表存储与所述单元的单元号对应的单元坐标的转换表;
其中,当在每个列单位进行对所述第三数据的所述脉冲传输时,根据通过访问所述单元坐标表而获得的、关于进行所述脉冲传输的所述列的先头单元的所述单元坐标的信息,在每个列单位读取所述第三数据。
3.根据权利要求2所述的曝光数据产生装置,其中,所述单元坐标表包括静态随机存取存储器。
4.根据权利要求1所述的曝光数据产生装置,该曝光数据产生装置进一步包括存储所述第三数据的动态随机存取存储器。
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