[发明专利]回收杯清洗方法以及基板处理装置

权利要求书

1.一种回收杯清洗方法，对回收杯进行清洗，该回收杯具有对回收空间进行划分的内壁，为对引导至该回收空间内的药液进行回收而将该药液导向给定的药液回收路径，其中，该回收空间用于引导基板处理中使用过的药液，其特征在于，该方法包括：

清洗液清洗步骤，采用清洗液对所述回收空间的内壁进行清洗；

药液清洗步骤，在该清洗液清洗步骤之后，采用与应经由所述回收空间而回收的所述药液相同种类的清洗用药液，对所述回收空间的内壁进行清洗；

废弃步骤，将在所述清洗液清洗步骤中引导至所述回收空间内的清洗液、和在所述药液清洗步骤中引导至所述回收空间内的清洗用药液导向与所述药液回收路径不同的废液路径而进行废弃。

2.如权利要求1所述的回收杯清洗方法，其特征在于，所述回收空间以包围基板旋转单元的周围的方式配置，该基板旋转单元用于保持基板并使该基板旋转，

所述方法还包括基板旋转单元动作步骤，该基板旋转单元动作步骤与所述清洗液清洗步骤以及所述药液清洗步骤同时进行，使所述基板旋转单元进行动作，

所述清洗液清洗步骤包括向所述基板旋转单元供给清洗液的清洗液供给步骤，

所述药液清洗步骤包括向所述基板旋转单元供给清洗用药液的药液供给步骤。

3.如权利要求2所述的回收杯清洗方法，其特征在于，所述基板旋转单元动作步骤是使保持在所述基板旋转单元上的仿真基板旋转的步骤，

所述清洗液供给步骤包括向旋转着的所述仿真基板供给清洗液的步骤，

所述药液供给步骤包括向旋转着的所述仿真基板供给清洗用药液的步骤。

4.如权利要求2所述的回收杯清洗方法，其特征在于，所述基板旋转单元动作步骤包括对所述基板旋转单元的动作速度进行改变的动作速度改变步骤。

5.如权利要求2所述的回收杯清洗方法，其特征在于，该方法还包括移动步骤，该移动步骤与所述清洗液清洗步骤以及所述药液清洗步骤之中的至少一个步骤同时进行，使所述基板旋转单元和所述回收杯在与通过所述基板旋转单元而旋转的基板的旋转轴线平行的方向上相对移动。

6.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

药液供给单元，其向基板供给药液；

回收杯，其具有对回收空间进行划分的内壁，该回收空间用于引导基板处理中使用过的药液；

药液回收路径，其用于对引导至所述回收空间的药液进行回收；

废液路径，其用于废弃被引导至所述回收空间的液体；

切换单元，其将引导至所述回收空间的液体有选择地导向所述药液回收路径或所述废液路径；

清洗液供给单元，其供给用于清洗所述回收空间的内壁的清洗液；

清洗用药液供给单元，其在由该清洗液供给单元向所述回收空间的内壁供给清洗液之后，向所述回收空间的内壁供给与应经由所述回收空间而回收的所述药液相同种类的清洗用药液；

控制单元，其对所述切换单元进行控制，使得在由所述药液供给单元向基板供给药液时，将引导至所述回收空间的药液导向所述药液回收路径，另一方面，在由所述清洗液供给单元向所述回收空间的内壁供给清洗液时、以及在由所述清洗用药液供给单元向所述回收空间的内壁供给清洗用药液时，将引导至所述回收空间的液体导向所述废液路径。

7.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，

该基板处理装置还包括用于保持基板并使其旋转的基板旋转单元，

所述药液供给单元包括向所述基板旋转单元供给药液的药液喷嘴，

所述清洗液供给单元包括向所述基板旋转单元供给清洗液的清洗液喷嘴，

所述清洗用药液供给单元包括向所述基板旋转单元供给清洗用药液的清洗用药液喷嘴。

8.如权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，所述药液供给单元兼用作所述清洗用药液供给单元。

9.如权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，所述基板旋转单元和所述回收杯容置于处理室内，

在所述处理室的外部设置有仿真基板保持部，该仿真基板保持部用于预先保持能够保持在所述基板旋转单元中的仿真基板。